半导体设备是指在半导体制造过程中使用的机械设备，它们是半导体产业的重要组成部分。
为了促进半导体设备零部件行业的发展，我国及部分省市发布了一系列行业政策，如2023年江西省发布的《江西省制造业重点产业链现代化建设“1269”行动计划（2023-2026年）》提出新能源动力系统领域，重点发展以功率半导体、功率金属氧化物半导体效应晶体管、继电器等为代表的车规级零部件。
我国及部分省市半导体设备零部件行业相关政策
| 层级 | 发布时间 | 发布部门 | 政策名称 | 主要内容 |
| 国家级 | 2022年8月 | 国务院 | 国务院关于支持山东深化新旧动能转换推动绿色低碳高质量发展的意见 | 大力提升先进计算、新型智能终端、超高清视频、网络安全等数字优势产业竞争力，积极推进光电子、高端软件等核心基础产业创新突破，前瞻布局未来网络、碳基半导体、类脑计算等未来产业。 |
| 国家级 | 2022年8月 | 工业和信息化部、财政部等部门 | 加快电力装备绿色低碳创新发展行动计划 | 重点发展2级及以上能效电机、直驱与集成式永磁/磁阻电驱动系统、超高效大转矩机电系统总成、智能电机、微电网与第三代半导体变频供电的高效电机系统及电驱动装备。 |
| 国家级 | 2023年8月 | 国务院 | 河套深港科技创新合作区深圳园区发展规划 | 面向信息科学与技术、材料科学与技术、生命科学与技术等重点方向，聚焦网络与通信、半导体与集成电路、智能终端、智能传感器、智能机器人、精密仪器设备、新材料、高端医疗器械、生物医药、区块链与量子信息、细胞与基因等前沿交叉领域，支持深港联合国内外高校、科研院所在深圳园区共建卓越研究中心、前沿交叉研究平台、人工智能应用示范平台、数字经济与金融超级计算集群、“量子谷”，促进粤港澳大湾区科技资源深度融合。 |
| 省级 | 2021年4月 | 山西省 | 山西省“十四五”未来产业发展规划 | 鼓励市县政府在土地、租金、生产用房等方面加强对半导体企业、项目的支持力度；落实半导体产业相关税收政策，降低企业负担；鼓励银行给予半导体企业信贷优惠、贷款担保；对通过上市、新三板挂牌等方式募集资金的予以固定金额补贴；优化配置科学开发铝土矿资源，确保半导体镓超纯材料供应；明确忻州市砷排放指标，保障产业发展。 |
| 省级 | 2022年7月 | 河南省 | 河南省加快材料产业优势再造换道领跑行动计划（2022—2025年） | 重点发展绝缘及介质陶瓷、铁电陶瓷、压电陶瓷、半导体陶瓷、半导体设备关键部件用陶瓷等功能陶瓷和高强度、高硬度、耐高温、耐腐蚀、抗氧化结构陶瓷，开发多孔陶瓷、陶瓷薄板、装饰陶瓷、节水型卫生陶瓷等。 |
| 省级 | 2023年7月 | 江西省 | 江西省制造业重点产业链现代化建设“1269”行动计划（2023-2026年） | 新能源动力系统领域，重点发展以功率半导体、功率金属氧化物半导体效应晶体管、继电器等为代表的车规级零部件。 |
| 省级 | 2023 年9月 | 河北省 | 河北省人民政府办公厅关于促进电子信息产业高质量发展的意见 | 巩固电子特种气体、碳化硅衬底、半导体外延片、溅射靶材等基础材料优势；发展硅片切割、芯片检测等半导体专用装备，提升射频、光通信、传感器等专用芯片设计水平；加快第三代半导体芯片器件、微波射频、电源管理、高端传感器等专用芯片生产线建设。 |
资料来源：观研天下整理（XD）
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