1、湿电子化学品概述
湿电子化学品又称超净高纯试剂，是微电子、光电子湿法工艺制程中使用的各种液体化工材料，也是重要的晶圆制造材料之一。由于下游行业对工艺品控要求极高，对电子湿化学品的纯度、洁净度、精度等特性具有严苛的要求，一般要求控制杂质颗粒粒径低于0.5µm，金属杂质含量低于ppm级（10-6为ppm，10-9为ppb，10-12为ppt），所以湿电子化学品具有高技术门槛、高附加值的显著特点。
按照组成成分和应用工艺不同，湿电子化学品分为通用湿电子化学品和功能湿电子化学品两大类：通用湿电子化学品一般为单组份、单功能、被大量使用的超净高纯试剂，常用于湿法工艺中的清洗、显影等工序，主要包括酸类（硫酸、磷酸、氢氟酸、盐酸、硝酸等），碱类（氨水、氢氧化钠、氢氧化钾等），有机溶剂类（甲醇、乙醇、异丙醇、丙酮、乙酸乙酯等）及其他类（双氧水等）产品。
湿电子化学品主要产品分类
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类别 |
种类 |
具体产品 |
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通用湿电子化学品 |
酸类 |
氟酸、硫酸、盐酸、硝酸、乙酸、磷酸 |
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碱类 |
氨水、氢氧化钠、氢氧化钾、氟化铵、四甲基氢氧化铵 |
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有机溶剂 |
醇类 |
甲醇、乙醇、异丙醇 |
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酮类 |
丙酮、丁酮、甲基异丁基酮、N-甲基吡咯烷酮 |
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酯类 |
乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸异戊酯、丙二醇单甲醚醋酸酯 |
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醚类 |
丙二醇单甲醚 |
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烃类 |
甲苯、二甲苯、环己烷 |
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卤代烃类 |
三氯乙烯、三氯乙烷、氯甲烷、四氯化碳 |
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其它 |
双氧水 |
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功能湿电子化学品 |
蚀刻液 |
金属蚀刻液、BOE蚀刻液、ITO蚀刻液 |
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清洗液 |
/ |
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光刻胶配套试剂 |
稀释液 |
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显影液 |
正/负胶显影液 |
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剥离液 |
正/负胶剥离液、剥离清洗液 |
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资料来源：观研天下整理
2、湿电子化学品存在较高壁垒，高端产品国产化率低，国产替代迫在眉睫
湿电子化学品应用广泛，对产品技术要求、供应系统要求较高，属于典型的技术密集型行业，欧美和日韩企业凭借技术优势分别占据我国35%和28%的市场份额。近年来，我国企业经过多年的技术研发与经验积累，在部分领域已经实现国产替代，如光伏领域。但是，显示面板和集成电路用湿电子化学品国产化替代水平仍然较低，像部分OLED面板及大尺寸液晶面板所需的湿电子化学品部分品种仍被韩国、日本厂商垄断，12英寸晶圆28nm以下先进技术节点制造所用的功能性湿电子化学品基本依赖于进口。
数据来源：观研天下整理
全球湿电子化学品主要先进生产企业
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地区 |
企业名称 |
企业情况 |
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欧美 |
德国巴斯夫公司 |
占据高端湿电子化学品市场优势地位，行业领先供应商 |
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美国陶氏杜邦公司 |
CMP抛光后清洗液、铝/铜工艺刻蚀后清洗液、HKMG假栅去除后清洗液等产品占有较大市场份额 |
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美国霍尼韦尔公司 |
可供半导体行业杂质100ppt以下湿电子化学品，如氢氟酸、氢氧化按、过氧化氢和盐酸等 |
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美国ATMI公司 |
世界知名的半导体用聚合物剥离液生产供应商 |
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美国AirProducts公司 |
CMP后清洗液、碱性、酸性的剥离液占有较大的市场 |
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德国汉高集团 |
工业清洗技术及产品处于领先地位（LCD玻璃清洗液、剥膜的剥离液及显影液等） |
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日本 |
关东化学公司 |
主要从事半导体用酸碱类超净高纯化学试剂的生立、研发 |
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三菱化学公司 |
主要生产高纯硫酸、硝酸、盐酸、草酸、双氧水、氨水及微电子加工所用清洗剂、刻蚀液 |
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住友化学公司 |
主要从事半导体、新型显示等用超净高纯化学试剂的研发、生产，特别是大尺寸晶圆制造应用。 |
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信越化学公司 |
主要生产、提供半导体用光刻胶及其配套的湿电子化学品 |
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韩国 |
东友精细化工公司 |
韩国最先开发半导体、TFT-LCD制造过程中高纯度化学品、蚀刻液、光刻胶、彩膜和偏光板的公司 |
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东进世美肯公司 |
产品几乎涵盖新型显示领域用所有功能性化学品，在铜制程相关产品方面处于垄断地位。 |
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中国台湾地区 |
台湾东应化股份有限公司 |
半导体、TFT-LCD用剥离液、显影液等湿电子化学品产品 |
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伊默克化学科技股份有限公司 |
提供中国台湾半导体及平面显示器工业用高纯度化学品供应及技术服务 |
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台湾三福化工股份有限公司 |
IC半导体、LCD、触控面板、LED、太阳能面板等产业所需湿电子化学品 |
资料来源：观研天下整理
3、政策鼓励、技术突破、本土化优势凸显，加速湿电子化学品行业国产替代
不过，在政策鼓励、技术突破、本土化优势凸显三大力量推动下，我国湿电子化学品行业国产替代进程加快。具体来看：
在政策方面，为解决湿电子化学品企业规模小，资金体量少，研发能力弱的问题，我国颁布了一系列相关政策来鼓励行业发展，国产化可期。例如，2022年1月工信部发布《重点材料首批次应用示范指导目录(2021年版）》中，半导体级硫酸等湿电子化学品列入。
我国湿电子化学品行业相关政策
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时间 |
部门 |
政策 |
内容 |
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2006年2月 |
国务院 |
《国家中长期科学和技术发展规划纲要》(2006-2020年) |
列出了一系列对化学试剂的现实需求和潜在需求，对试剂行业的发展起到促进作用的重大科学研究计划 |
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2015年3月 |
科技部、财政部、国税总局 |
《国家重点支持的高新技术领域(2015)》 |
将集成电路和分立器件用湿电子化学品、印刷线路板生产和组装用湿电子化学品、显示器件用湿电子化学品、超净高纯试剂及特种(电子)气体、先进的封装材料彩色液晶显示器用湿电子化学品列入国家重点支持的高新技术领域 |
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2019年10月 |
发改委 |
《产业结构调整指导日录(2019年本)》 |
超净高纯试剂、光制胶、电子气、高性能液晶材料等新型精细湿电子化学品的开发与生产等被列为鼓励类目录 |
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2020年7月 |
石油和化学工业规划院 |
《化工新材料行业“十四五”规划指南》 |
重点发展为集成电路、平板显示器、新能源电池，印制电路板四个领域配套的子湿电子化学品，加快品种更替和质量升级 |
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2022年1月 |
工信部 |
《重点新材料首批次应用示范指导目录(2021年版)》 |
将半导体级硫酸等湿电子化学品列入其中 |
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2022年3月 |
工信部 |
《关于“十四五"推动石化化工行业高质量发展的指导意见》 |
实施“三品”行动,提升化工产品供给质量。围绕新一代信息技术、生物技术、新能源、高端装备等战略性新兴产业，增加有机氟硅、聚氨酯、聚酰胺等材料品种规格,加快发展高端聚烯烃、电子湿电子化学品、工业特种气体、高性能橡塑材料、高性能纤维、生物基材料、专用润滑油脂等产品 |
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2023年01月 |
工业和信息化部等六部门 |
《工业和信息化部等六部门关于推动能源电子产业发展的指导意见》 |
把握数字经济发展趋势和规律，加快推动新一代信息技术与新能源融合发展，积极培育新产品新业态新模式。推动基础元器件、基础材料、基础工艺等领域重点突破，锻造产业长板，补齐基础短板，提升产业链供应链抗风险能力。 |
资料来源：观研天下整理
根据观研报告网发布的《中国湿电子化学品行业发展趋势研究与未来投资预测报告（2024-2031年）》显示，在技术突破方面，随着国内部分湿电子化学品企业对技术研发重视程度不断加深，部分生产、检测、提纯和容器处理的技术已达国际先进水平，如G5级湿电子化学品已有部分企业实现生产。具体到各企业产品，江化微的硫酸、氨水、盐酸等产品，兴福电子的磷酸、硫酸、双氧水、氢氟酸等均已达到G5级，中巨芯已经能够生成G5级电子级氢氟酸、电子级硫酸、电子级硝酸等。
江化微湿电子化学品产品线级别
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类别 |
产品 |
GL(G5) |
XL(G4) |
SL(G3) |
UL(G2) |
EL(G1) |
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酸碱类 |
硫酸（H2SO4） |
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√ |
√ |
√ |
√ |
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氨水（NH4OH） |
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√ |
√ |
√ |
√ |
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过氧化氢（H2O2） |
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√ |
√ |
√ |
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盐酸（HCl） |
√ |
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√ |
√ |
√ |
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硝酸（HNO3） |
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√ |
√ |
√ |
√ |
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磷酸（H3PO4） |
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√ |
√ |
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氢氟酸（HF） |
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√ |
√ |
√ |
√ |
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冰乙酸（CH3COOH） |
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√ |
√ |
√ |
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氟化铵（NH4F） |
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√ |
√ |
√ |
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胆碱（Choline） |
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√ |
√ |
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氢氧化钾（KOH） |
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氢氧化钠（NaOH） |
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溶剂类 |
甲醇（Methanol） |
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乙醇（Ethanol） |
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√ |
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异丙醇（IPA） |
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√ |
√ |
√ |
√ |
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丙酮（Acetone） |
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√ |
√ |
√ |
√ |
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醋酸丁酯（Butylacetate） |
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√ |
√ |
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乙二醇（EG） |
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√ |
√ |
√ |
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N-甲基吡咯烷酮（NMP） |
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√ |
√ |
√ |
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丙二醇单甲醚（PGME） |
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√ |
√ |
√ |
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丙二醇单甲醚醋酸酯（PGMEA） |
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√ |
√ |
√ |
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其他 |
三氯氧磷（POCl3） |
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√ |
/ |
√ |
资料来源：观研天下整理
本土化优势方面，本土企业沟通、运输成本低，利于明确产品需求及共同开发特定产品，并且国内企业具有一定地理优势。同时，湿电子化学品是对基础化学品更高纯度、更少杂质含量要求的化学品，国内基础化学品来源丰富且具备规模化生产能力，这为湿电子化学品行业提供稳定的原材料供应。
4、我国湿电子化学品企业产能迎来高速增长
目前，我国从事湿电子化学品研究生产的企业有40多家。在政策支持叠加技术进步的背景，国产湿电子化学品企业也积极进行产能扩建，行业产能迎来高速增长。
2023年我国湿电子化学品主要生产企业产能投建规划情况
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企业名称 |
生产基地 |
产能（万吨） |
在建产能（万吨） |
预计投产时间 |
规划产能（万吨） |
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江化微 |
江阴 |
9.00 |
/ |
/ |
/ |
|
四川 |
5.80 |
10.00 |
2027年6月 |
/ |
|
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镇江 |
8.70 |
/ |
/ |
/ |
|
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格林达 |
杭州 |
11.00 |
/ |
/ |
/ |
|
四川 |
/ |
6.00 |
试生产中 |
4.00 |
|
|
晶瑞电材 |
21.50 |
2.00 |
/ |
/ |
|
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上海新阳 |
上海 |
1.90 |
3.05 |
2026年6月 |
/ |
|
合肥 |
/ |
1.70 |
试生产中 |
5.30 |
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兴福电子 |
湖北/上海 |
18.40 |
6.00 |
/ |
/ |
|
中巨芯 |
衢州 |
9.95 |
/ |
/ |
/ |
|
潜江 |
/ |
19.60 |
/ |
/ |
|
|
润玛股份 |
7.27 |
6.50 |
/ |
/ |
|
|
达诺尔 |
11.00 |
/ |
/ |
24.00 |
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|
联士新材料 |
18.64 |
/ |
/ |
30.56 |
|
|
胜华新材 |
3.50 |
1.50 |
2024年8月 |
/ |
|
|
博洋股份 |
/ |
10.00 |
2024年6月 |
/ |
|
|
福建德尔 |
/ |
36.00 |
/ |
/ |
|
|
怡达化学 |
/ |
5.00 |
/ |
/ |
|
|
裕能化工 |
16.90 |
/ |
/ |
/ |
|
|
合计 |
143.56 |
107.35 |
/ |
63.86 |
|
资料来源：观研天下整理（WYD）
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