半导体、显示面板等领域强劲拉动我国三氟化氮需求增长 出口量增却难掩价跌

前言：

2019-2023年，在晶圆产能扩张、显示面板行业蓬勃发展以及太阳能电池产量快速增长等因素推动下，我国三氟化氮市场需求快速释放。与此同时，至2023年其产能达2.5万吨，全球占比超过50%，且产能高度集中于中船特气、中国中化（昊华气体）及南大光电等少数企业。

自2018年起，我国三氟化氮出口量整体保持增长，但出口均价呈下滑趋势。这一“量增价跌”的态势在2025年1-8月仍在延续：出口量同比增长12.09%，而同期均价则下跌6.93%。

1.三氟化氮下游应用集中，以半导体和显示面板为主

三氟化氮（NF₃）在常温下为无色无味气体，化学性质相对稳定。相比其他含氟电子特气，它反应更快、蚀刻效率更高，对氮化硅等含硅材质蚀刻时，不仅速率高、选择性好，还能避免表面残留；同时具备优良清洗性能，可保障精密表面洁净度，满足高精度制造的严苛要求。

依托这些优势，三氟化氮主要用作等离子蚀刻气体与反应腔清洗剂，适用于半导体、显示面板、光纤、光伏等领域。在我国下游应用中，需求高度集中：半导体是最大应用领域，显示面板为第二大应用领域，两大领域需求占比合计约 90%，是支撑我国三氟化氮市场需求的核心板块。

数据来源：公开资料、观研天下整理

2.半导体、显示面板及光伏领域强劲拉动，我国三氟化氮需求量快速上升

根据观研报告网发布的《中国三氟化氮行业现状深度研究与投资前景预测报告（2025-2032年）》显示，三氟化氮是半导体制造中至关重要的电子特气，主要应用于化学气相沉积（CVD）设备的腔体清洗以及部分等离子体蚀刻工艺。在晶圆生产过程中，CVD反应腔内壁会不断积累由前驱体残留物形成的硅化物薄膜，影响工艺稳定性和良率。此时需通入三氟化氮，其在等离子体环境中分解产生活性氟自由基，能高效、无残留地蚀刻清除这些沉积物，确保腔室洁净以投入下一轮生产。同时，三氟化氮也用于对氮化硅等介质层进行高选择性的等离子蚀刻。

在国家政策支持、技术突破、市场需求增长及供应链自主可控要求的共同推动下，中国大陆晶圆产能实现跨越式提升，从2020年的318.4万片/月增至2024年的885万片/月，年均复合增长率达29.12%。这一快速扩张的产能，为三氟化氮市场带来持续且强劲的需求。

数据来源：公开资料、观研天下整理

注：按8英寸等效计算

在显示面板领域，三氟化氮是用量最大的电子特气。近年来，全球显示面板产业向中国大陆转移、企业积极扩能及技术迭代，推动我国显示面板行业蓬勃发展，为三氟化氮带来显著需求增量。数据显示，2023年我国显示面板市场规模约 5694亿元，同比增长19.77%；出货面积达1.76亿平方米，较2012年的0.22亿平方米大幅增长，2012-2023年年均复合增长率达20.81%，全球出货面积占比也从2012年的36.9% 提升至2023年的70%以上。

数据来源：公开资料、观研天下整理

光伏领域同样是三氟化氮的重要应用场景，其作为蚀刻与清洗气体广泛用于太阳能电池制造。随着我国光伏产业快速发展，太阳能电池产量持续攀升，为三氟化氮行业带来可观新增量。据统计，我国太阳能电池产量从2019年的12862.1万千瓦跃升至2024年的68495.3万千瓦，年均复合增长率高达39.72%。

数据来源：国家统计局、观研天下整理

总的来看，在晶圆产能扩张、显示面板行业蓬勃发展以及太阳能电池产量快速增长等因素推动下，我国三氟化氮市场需求快速释放——需求量从2019年的1.09万吨增长至2023年的1.90万吨，年均复合增长率约为14.90%。

数据来源：公开资料、观研天下整理

3.我国三氟化氮全球产能占比超50%，中船特气产能规模领先

我国三氟化氮行业虽起步较晚，但发展势头迅猛，自主技术能力快速提升，2019 年实现关键转折——从三氟化氮净进口国转变为净出口国，贸易格局由逆差转为顺差。彼时全球三氟化氮产能约3万吨，我国产能占比已超1/3；此后行业不断扩产，全球产能份额随之提升，至2023年我国产能达2.5万吨，全球占比超过50%。

数据来源：公开资料、观研天下整理

三氟化氮行业技术壁垒较高，新进入者有限，产能高度集中于中船特气、中国中化（昊华气体）、南大光电等少数企业。其中，中船特气作为国内龙头，2023年产能约9250吨，占全国总产能35%以上，位列全球第二；2024年其产能扩张至11000吨，同时呼和浩特子公司在建三氟化氮年产能7500吨，建成后公司三氟化氮产能将居世界第一，其国内领先地位将得到进一步巩固。

4.我国三氟化氮出口量增但价跌，短期海外供应趋紧，国内企业有望补位

从进出口情况看，我国三氟化氮进口量自2018年起波动明显，区间维持在 150-1600吨；出口量则呈整体上升态势，从2018年的991.2吨快速增长至2024年的3934.99吨。2025年出口需求延续强劲，1-8月累计出口2634.6吨，同比增长12.09%，增长动力主要源于国内产能提升所形成的供应保障，以及产品性能所构筑的国际市场核心竞争力。

数据来源：海关总署、观研天下整理

价格方面，2018-2024年我国三氟化氮进口、出口均价均整体下跌，进口均价从 18.01万元/吨降至10.74万元/吨，跌幅40.37%；出口均价从16.30万元/吨降至 12.55万元/吨，跌幅23.01%。2025年1-8月价格走势分化，进口均价回暖至约 12.30万元/吨，较2024年同期的10.72万元/吨增长14.74%；出口均价则继续下跌，约为11.82万元/吨，较2024年同期12.7万元/吨下跌6.93%。

数据来源：海关总署、观研天下整理（WJ）

值得注意的是，2025年5月26日，日本三井化学宣布退出全资子公司下关三井化学的三氟化氮业务，计划2026年3月底停止生产、年内结束销售，该业务当前约有1700吨产能；8月7日，关东电化工厂发生爆炸，其3700吨三氟化氮产能进入长期停产，预计停产时间至少6个月。这或将使得短期海外供应趋紧，为我国三氟化氮出海创造机遇，国内中船特气等企业有望填补市场空缺，进一步扩大国际市场占有率。