台积电CoPoS领航面板级封装扩产拉动TGV电镀机行业刚性需求

2026-07-18 10:46

手机浏览

前言：

TGV电镀机是利用电化学沉积原理将铜原子精准、无缺陷地填充，形成实心的导电“微血管”，实现芯片与基板之间、不同芯片层之间的电信号互联。这一工艺的技术难度远超传统PCB或普通晶圆级电镀——高深宽比（从5:1向30:1演进）下的均匀填孔、超薄玻璃基板的应力控制与翘曲管理、以及无空洞无缝隙的填充质量要求，构成了TGV电镀设备的核心技术壁垒。当前，全球玻璃基板先进封装产业化进程全面提速：台积电2026年6月正式发布CoPoS方案并建成试验线，规划2027年试产、2028至2029年大规模量产；英特尔已推出搭载玻璃基板的Xeon 6商用处理器；三星电机锁定2027年量产计划。与此同时，日月光、力成科技等全球主要封测厂密集建设面板级封装产线，直接拉动TGV电镀设备需求。

1、TGV电镀机被称为玻璃基板“血管”的填充者，技术难度高

TGV，即“穿过玻璃的通孔”（Through Glass Via），是在一片极薄的玻璃基板上，制造出成千上万个直径微米级、深宽比极高的垂直电互连通道。这些通孔本身是空洞，必须用金属（主要是铜）将其完全、致密地填充，才能实现芯片与基板之间、不同芯片层之间的电信号传输。

TGV电镀机的核心任务，就是利用电化学沉积原理，将铜原子精准、无缺陷地填充进这些比头发丝还细的深孔中，形成实心的导电“微血管”。TGV电镀的技术难度远超传统PCB或普通晶圆级电镀，其核心挑战源于玻璃通孔独特的几何结构：

TGV电镀机技术难度

TGV电镀机技术难度

资料来源：观研天下整理

2、玻璃基板先进封装产业化提速，AI算力与先进封装拉动TGV电镀机刚需

根据观研报告网发布的《中国TGV电镀机行业现状深度研究与发展前景分析报告（2026-2033年）》显示，TGV电镀机的市场需求，与玻璃基板在先进封装中的渗透率呈100%正相关。近年来，全球半导体巨头正加速推进玻璃基板的量产布局。例如，台积电于2026年6月正式发布CoPoS方案并建成试验线，规划2027年试产、2028至2029年实现大规模量产；英特尔已推出搭载玻璃基板的Xeon 6商用处理器；三星电机则将量产时间锁定在2027年。由于玻璃基板产线中设备投资占比高达70%，且激光、电镀、PVD等核心设备的国产化进展较快、已基本具备产业化配套能力，随着海内外龙头持续加码产能，国内设备厂商有望率先受益于新增产能建设与设备导入需求。

全球主要企业在玻璃基板领域的产线布局

企业名称	国别	产线布局	核心技术方向	产能与量产状态
英特尔	美国	美国亚利桑那州Chandler工厂（研发+中试线）	玻璃基板用于Chiplet异构集成，TGV通孔、高密度布线	全球最早布局，原型产品发布，预计2026-2030年规模量产
三星电机	韩国	韩国世宗工厂（研发线），越南（规划中）	玻璃中介层、FCBGA基板替代方案	研发加速，目标2027年前后量产，面向自身及外部客户
大日本印刷（DNP）	日本	日本本土（研发线+小量试产）	玻璃芯基板（GCS），精细TGV工艺	已小批量试产，目标2026-2027年进入规模供应阶段
Absolics	美国	美国佐治亚州Covington工厂（全球首条量产线）	玻璃基板及TGV技术，面向半导体先进封装	SKC子公司，2024年宣布全球首条量产线投产，已获美国CHIPS法案补贴
沃格光电	中国	江西新余、湖北天门等地	TGV玻璃通孔技术，玻璃基MiniLED背光基板、半导体封装载板	从显示向半导体跨越，已建成TGV量产线，在显示和封装两端齐头并进
东旭光电	中国	安徽芜湖、四川绵阳（中试线布局）	TGV玻璃基板、MiniLED背光基板	从显示基板向半导体封装基板延伸，处于研发中试阶段
康宁	美国	美国本土（研发阶段）	高平整度玻璃基板，面向先进封装	具备玻璃配方优势，尚处技术储备和客户验证阶段
旭硝子（AGC）	日本	日本本土（研发阶段）	半导体级超薄玻璃基板	计划切入封装市场，技术储备中

资料来源：观研天下整理

与此同时，玻璃基板凭借低介电损耗、优异的尺寸稳定性以及适用于高频高速场景的突出优势，正逐步替代部分有机基板和硅中介层，成为下一代中介层与面板级封装的重要技术路径。TGV电镀机正是在玻璃基板内部形成铜填充通孔、实现垂直电互连的关键工艺装备。随着AI服务器、高速通信及先进封装产能在全球范围内持续扩张，晶圆厂与封测厂密集建设面板级封装产线，直接拉动了TGV电镀机市场需求。例如，日月光是目前面板级封装领域动作最密集的封测厂，2026年同步推进15座厂区扩建，资本支出上调至85亿美元，涵盖2.5D封装、面板级扇出封装等高端产线布局，其310mm产线被认为是业界首条具备经济效益的高度自动化FOPLP量产线。

数据来源：观研天下整理

全球主要晶圆厂与封测厂在面板级封装（PLP/FOPLP）产线建设

企业	产线/项目	基板规格	产线状态	量产时间表
日月光投控	高雄FOPLP量产线	310mm×310mm自动化产线	设备导入中，年底试产	2026年底试产，2027年上半年正式投产
力成科技	台湾FOPLP产线	510mm×515mm大尺寸面板	2025年已跨入量产门槛	2026年大规模扩产，2027年逐步放量
力成×博通（合资）	新加坡PLP合资公司	面板级先进封装基板	厂房预计2026年底动土	2028年投入量产
台积电	CoPoS方案试验线（采钰龙潭厂）	310mm×310mm（锁定）	试产线已建成，设备验证中	2027年试产，2028—2029年大规模量产
三星电机	玻璃基板量产线	—	研发加速中	锁定2027年量产

资料来源：观研天下整理

3、全球TGV电镀机行业市场规模不断扩大，中国市场占比为34.24%

因此，在上述因素影响下，TGV电镀机行业市场规模不断扩大。根据数据，2025年全球TGV电镀机市场销售额达到了17.04亿元，预计2032年将达到27.58亿元，年复合增长率为7.2%。地区层面来看，中国市场在过去几年变化较快，2024年市场规模为0.60亿美元，约占全球的34.24%，预计2031年将达到1.18亿美元。