刻蚀设备：全球市场呈现一超两强格局 国内市场则中微公司、北方华创优势明显

刻蚀设备是一种用于材料表面处理的设备，通过物理或化学方法实现材料表面的选择性去除。根据应用领域和原理，刻蚀设备可分为干法刻蚀和湿法刻蚀两大类，其中干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术，又分为三种：物理性刻蚀、化学性刻蚀、物理化学性刻蚀，其中物理性刻蚀又称为溅射刻蚀。

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刻蚀设备主要可以用来半导体制造、光伏领域、生物医学和纳米技术等领域，而随着下游应用的发展，刻蚀设备市场规模也不断增长。数据显示，到2022年全球刻蚀设备市场规模达到了139.9亿美元，同比增长6.3%。

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从企业占比来看，全球刻蚀机占比最高的企业为泛林半导体，占比为46.71%；其次是东京电子，市场占比为26.57%；第三是应用材料，市场占比为16.96%，而我国企业中微公司、北方华创占比较小，占比分别为1.37%、1.23%。

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企业方面，我国刻蚀设备行业本土相关上市企业主要有中微公司 (688012)、北方华创 (002371)等，其中中微公司截至2022年6月30日,公司已申请2085项专利,其中发明专利1799项;已获授权专利1189项,其中发明专利1011项。

我国刻蚀设备行业本土相关上市企业情况

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从企业营业收入情况来看，2021年到2023年中微公司、北方华创营业收入和归母净利润均为增长趋势，到2024年Q1中微公司营业收入16.05亿元，同比增长31.23%，而归母净利润则为2.49亿元，同比下降9.53%；北方华创第一季度实现营业收入58.59亿元，同比增长51.36%；归母净利润11.27亿元，同比增长90.4%。

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