前言:
在AI算力爆发与显示产业向中国转移的双重驱动下,我国靶材行业迎来“量价齐升”的黄金发展期。数据显示,中国高性能溅射靶材市场规模已从2017年的185亿元增长至2020年的283亿元,预计2026年将达653亿元,年复合增长率约15%。需求端,AI创新周期推动7nm以下先进制程对铜互连靶材、钴阻挡层靶材需求激增,存储芯片HBM的堆叠结构更依赖多层薄膜沉积;显示产业方面,中国大陆面板产能占全球比重已超60%,大尺寸化、高刷新率趋势推动ITO、铜靶、钼合金等靶材用量持续提升。政策端更是红利密集——四部门联合发文明确加快在高纯靶材等领域实现突破,广州将高纯靶材列为“十五五”集成电路补短板重点方向,有望在资金、土地等方面给予倾斜。
1、靶材——半导体与显示产业的“隐形基石”
根据观研报告网发布的《中国靶材行业发展现状分析与投资前景预测报告(2026-2033年)》显示,溅射靶材是指通过专用设备采用物理气相沉积(PVD)技术在基材上制备薄膜的原材料,是高速荷能粒子轰击的目标材料。作为PVD工艺的核心耗材,靶材广泛应用于半导体集成电路、平板显示、太阳能电池等高端制造领域,其技术门槛极高,需满足高纯度(通常99.999%以上)、高密度、高均匀性等严苛要求,是支撑先进制程芯片和大尺寸面板的关键材料。
溅射靶材工作原理
资料来源:公开资料整理
在产业链方面,靶材产业链涵盖上游金属提纯与加工、中游靶材制造、下游应用三大环节。具体来看,靶材行业上游包括高纯铜、铝、钛、钽、钴、铟等金属的提纯与加工。高纯金属(纯度通常要求4N5至6N以上)是靶材制造的核心原料,技术壁垒高,长期以来依赖进口。江丰电子等国内企业已实现高纯钛、钽等金属的自主可控。
中游为靶材制造,涵盖粉末冶金、熔炼铸造、绑定焊接、精密加工等环节。技术难点在于晶粒尺寸控制、大尺寸成型(G11代线靶材可达3米以上)、背板绑定技术等。全球高端市场由JX金属、霍尼韦尔、东曹等海外巨头主导,国内企业正加速追赶。靶材下游应用于半导体、显示面板、太阳能电池。
靶材产业链图解
资料来源:观研天下整理
2、四部门联合推动高纯靶材突破,广州等地将高纯靶材列为重点方向
近年来,国家出台了多项政策支持靶材行业发展。例如,2020年,国家发改委、科技部、工信部、财政部等四部门联合印发《关于扩大战略性新兴产业投资 培育壮大新增长点增长极的指导意见》,明确提出加快在光刻胶、高纯靶材、高温合金等领域实现突破。这一政策从国家战略层面确立了靶材作为关键材料的重要性,为国产替代提供了顶层政策支持。
《关于扩大战略性新兴产业投资 培育壮大新增长点增长极的指导意见》
资料来源:发改委
与此同时,广州等地将高纯靶材列为重点方向。例如,2026年1月,广州市发布《关于“十五五”时期全链条推动集成电路产业高质量发展的若干政策(征求意见稿)》,明确提出“集聚发展光掩膜、光刻胶、电子气体、高纯靶材、大硅片等制造材料生产线”。这意味着在“十五五”时期,地方政府将高纯靶材列为集成电路产业链补短板的重要环节,有望在资金、土地、人才等方面给予政策倾斜。
3、AI+显示双轮驱动,我国靶材市场空间持续扩容
AI创新周期是靶材市场增长的核心驱动力。数据显示,2024年我国智算中心新增机架数超30万,2025年智能算力规模约为1037.3EFLOPS。同时,AI算力需求推动芯片向3D封装、Chiplet等异构集成演进,PVD工艺在TSV(硅通孔)、RDL(重布线层)等环节的应用显著增加。而且,7nm以下先进制程对铜互连靶材、钴阻挡层靶材的需求激增,存储芯片(如HBM高带宽内存)的堆叠结构也依赖更多层薄膜沉积。
数据来源:观研天下整理
显示面板则为靶材市场需求提供稳定支撑。目前全球 LCD 产能已全面向中国大陆转移并完成承接,而OLED则正处于中韩双强、本土追赶的关键承接期。溅射靶材是集成电路生产的关键先进材料,主要应用于晶圆制造和芯片封装两大环节:在晶圆制造过程中,溅射靶材被用作金属溅镀材料,用于导电层、阻挡层和接触层等关键部分的制备;芯片封装环节,溅射靶材则被用于贴片焊线的镀膜处理。现阶段,大尺寸化(G8.5以上)、高刷新率、柔性化趋势推动靶材用量提升,尤其ITO、铜靶、钼合金等靶材需求持续增长。
资料来源:观研天下整理
因此,在上述因素驱动下,我国靶材行业市场空间扩容。根据数据,我国高性能溅射靶材行业市场规模从2017年的185亿元增长至2020年的283亿元,年复合增长率15.2%;预计2026年将增长至653亿元,年复合增长率约15%。(WYD)
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