全球三氟化氮行业分析：长期需求增势强劲 短期将呈现供过于求局面

1、三氟化氮是电子工业中优良的等离子蚀刻气体和反应腔清洗剂

根据观研报告网发布的《中国三氟化氮行业发展趋势研究与未来投资预测报告（2023-2030年）》显示，高纯三氟化氮（NF3）常温下具有化学惰性，高温下则比氧气更活泼、比氟更稳定，具有非常优异的蚀刻速率和选择性（对氧化硅和硅的选择性），且在被蚀刻物表面不留任何残留物，可作为刻蚀剂用于芯片和液晶显示面板的加工，同时也是电子工业中优良的等离子蚀刻气体和反应腔清洗剂。

三氟化氮制备方法

数据来源：观研天下整理

三氟化氮电解法工艺流程

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2、全球三氟化氮行业长期需求增势更为强劲

目前，三氟化氮是应用规模最大的特气。近年来，随着下游集成电路产能持续扩张及其制程技术节点微缩，芯片工艺尺寸越来越小，集成电路制造中进行刻蚀、沉积和清洗的步骤增加，全球高纯三氟化氮行业需求快速增长，并且整体供过于求。根据数据显示，2017-2021年全球三氟化氮需求年复合增速约为10.3%，供应年复合增速为14.7%，2025年供给及需求有望分别达6.3万吨、6.4万吨。

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在国内市场，随着我国集成电路、显示面板等下游产业高速发展，国内三氟化氮需求旺盛，2017-2021年需求复合增长率达23.60%，但是供应尚无法满足需求，2026年供给及需求有望分别达3.2万吨、4.1万吨。

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3、国内外三氟化氮市场短期将呈现供过于求的局面

另外，根据相关资料可知，2022-2023年，随着国内企业中船特气（现有年产能9250吨，规划到2023年增加3250吨/年）、南大光电（现有3800吨/年，规划2023-25年新增8200吨/年）、昊华科技（现有2000吨/年，规划新增3000吨/年）较大规模三氟化氮项目的集中投产，再加上海外SK Materials、晓星、关东电化等企业产能释放，国内外三氟化氮市场短期将呈现供过于求的局面。

全球主要厂家三氟化氮产能（吨）

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4、国内中船特气市场份额占比全球第二，仅次于SKMATERIALS

在市场竞争方面，目前，国外先进企业主要是SK Materials、晓星、关东电化、默克，而国内企业主要为中船特气、南大光电、昊华科技。市场份额方面，我国生产厂商中船特气在全球三氟化氮市场中占有一定份额，2020年占比达到24%，排名第二，仅次于SK Materials（市场份额为28%）。

数据来源：观研天下整理（WYD）