半导体设备零部件主要可分为机械类、电气类、机电一体类、气体/液体/真空系统类、仪器仪表类和光学类等，而半导体零部件设备在整个半导体设备中的支出占到了70%左右，是半导体的重要组成部分。
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由于半导体设备零部件对精细度要求高，开发难度大，并且难以批量生产，所以国内专门生产开发半导体设备零部件的企业相对较少。目前国际市场主要被美国、日本公司所垄断，但随着对半导体设备零部件需求加大，我国不少企业也参与其赛道，比如说富创精密、江丰电子、新莱应材等企业。
除上述这些企业之外，其他半导体设备企业也积极布局，根据资料显示，拓荆科技、中科飞测、盛美上海、微导纳米4家半导体设备厂商联合成立的合资公司——广州中科共芯半导体技术合伙企业（有限合伙），公司已于2023年12月12日注册成立，注册资本1.8亿元。据了解，中科共芯定位将会是一家投资平台，投资范围将聚焦半导体设备零部件，并将以战略性投资为主。而在2024年1月23日，盛剑环境发布公告称，公司拟向不特定对象发行不超5亿元可转换公司债券，用于国产半导体制程附属设备及关键零部件项目（一期）和补充流动资金。（XD）
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