双赛道共振 集成电路+光伏带动我国干式真空泵需求持续释放 国产替代加速突破

一、干式真空泵是目前半导体和泛半导体领域主流用泵

真空泵是半导体制造真空系统的核心关键部件。据了解，一套完整的半导体生产系统，通常主要由工艺腔室、装载系统、晶圆传送系统、气体输送系统、设备冷却系统、设备加热系统、控制管理系统、真空系统等构成。其中，真空系统主要由真空泵、真空阀、真空表计与真空管道等组成，分别用于真空获得、真空检漏、真空测量。而根据可工作的压强范围，真空泵可分为干式真空泵（10⁵~10⁻¹Pa）、分子泵（5~10⁻⁶Pa）、离子泵（10⁻²~10⁻¹⁰Pa）等。其中，干式真空泵凭借其清洁、适配性强等优势，已成为目前半导体和泛半导体领域的主流用泵，广泛应用于晶圆制造、封装测试等核心环节。

资料来源：公开资料

根据观研报告网发布的《中国干式真空泵行业发展趋势分析与未来投资预测报告（2026-2033年）》显示，干式真空泵，又称无油干式机械真空泵，是一种无需油润滑、可直接从大气压抽气并直排气体的机械真空设备。其具有清洁、安全、振动小、噪声低、性能稳定等特点，无需像传统油封式机械泵一样使用油或液体进行密封，不会在泵腔中逆流或扩散，避免油类或腐蚀性蒸汽对生产造成的负面影响和安全隐患，能够满足半导体和泛半导体领域对洁净环境的较高要求。‌根据机械结构，干式真空泵可分为罗茨干泵（包含罗茨和爪型组合结构）、螺杆干泵以及涡旋干泵等。

资料来源：公开资料，观研天下整理

二、集成电路产业快速增长，带动干式真空泵市场持续扩容

干式真空泵作为半导体制造设备中的关键配套设备，广泛应用于集成电路晶圆制造的多个核心工序，其市场需求与集成电路产业的发展深度绑定。

集成电路产业作为现代信息产业的基础和核心产业之一，是关系国民经济和社会发展全局的基础性、先导性和战略性产业，在保障国家安全、推动国家经济发展以及社会进步等方面发挥着广泛而重要的作用，是衡量一个国家现代化程度以及综合国力的重要标志。

近年来，在国家及地方各级政府产业政策扶持、国家集成电路产业投资基金与地方专项扶持基金推动，以及社会各界协同发力下，我国集成电路产业实现从弱小到壮大的跨越式发展，企业创新能力持续提升，已在全球产业格局中占据重要地位，部分细分领域已具备国际领先的技术与研发水平。数据显示，2024年中国大陆集成电路产业销售额约1.5万亿元，同比增幅达22.3%，显著高于全球同期19.66%的增速。2025年中国集成电路产量达4843亿块，同比增长10.9%，产业发展势头强劲。

数据来源：公开数据，观研天下整理

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产业规模的快速增长，直接带动上游半导体设备市场的爆发。自2020年起，我国已连续四年成为全球最大的半导体设备市场，全球占比稳定在30%以上。2024年国内半导体设备市场规模达495.5亿美元，2020-2024年年均复合增长率高达27.55%。据国际半导体产业协会（SEMI）最新报告，2025年全球半导体制造设备销售额同比增长15%至1351亿美元，连续三年创历史新高。其中，中国大陆市场支出仍接近历史高位，达493亿美元，仅较2024年微降0.5%，主要投向成熟制程产能扩建与先进工艺选择性布局；中国台湾地区则受AI与高性能计算需求驱动，设备支出同比大涨90%至315亿美元，创下历史纪录。

数据来源：国际半导体产业协会（SEMI），观研天下整理

作为半导体制造工艺中的核心真空设备，干式真空泵的市场需求随半导体产业的持续扩张同步增长。以12英寸晶圆生产线为例，业内通常每6万片/月产能需要约3500 台干式真空泵。根据SEMI及相关研报统计，2026年中国大陆12英寸晶圆厂产能达到240万片/月，占据全球25%的份额。据此测算，2026年中国大陆集成电路产业对干式真空泵的需求将达到14万台。

三、光伏行业蓬勃式发展下，干式真空泵需求持续释放

值得注意的是，干式真空泵的应用场景并非局限于半导体制造领域，随着技术的不断成熟和适配性提升，其应用范围已实现广泛延伸，涵盖光伏发电、锂电池制造、显示面板制造、精密加工及医疗设备等多个领域。其中，光伏产业凭借规模扩张优势，已成为干式真空泵的重要应用场景之一。

在光伏产业中，晶硅太阳能电池是主流产品，其生产过程中，晶体生长和电池片制造等核心工序均对真空环境有着严格要求，而干式真空泵凭借清洁、稳定、适配性强的特点，能够完美满足这一需求，因此行业发展直接带动干式真空泵的需求增长。

得益于“碳中和”政策，近年来我国光伏行业呈现蓬勃式发展。数据显示，2021-2024年我国大陆光伏累计装机容量从306.97GW上涨至887.93GW，复合增长率为42.48%；新增装机容量从54.88GW上涨至277.17GW，复合增长率为71.57%。截至2025年底，我国大陆光伏累计装机容量1200GW，同比增长35.4%，新增装机容量317GW，同比增长14%。

数据来源：国家能源局，观研天下整理

行业规模的快速扩张带动晶硅太阳能电池产能提升，晶体生长、电池片制造等核心工序对干式真空泵的需求量随之大幅增加。资料显示，业界通常1GW的光伏单晶产能约需80-100台真空主泵，1GW的电池片产能需要60-70台真空泵。2024年我国光伏产业对干式真空泵的需求约6.7-8.2万台，按单台均价7万元估算，市场规模约 47.0-57.2亿元。

数据来源：公开数据，观研天下整理

四、外资主导干式真空泵市场，国产替代加速突破

干式真空泵对性能的可靠性、稳定性要求极高，需在大量实际工艺场景中持续迭代改进、优化提升，因此行业技术壁垒较高。目前，在全球干式真空泵市场（尤其是集成电路领域）中，英国Edwards、日本Ebara、日本Kashiyama等少数外资企业占据主导地位，垄断了大部分市场份额。

资料来源：公开资料，观研天下整理(WW)

我国对干式真空泵的研制起步较晚，产业基础相对薄弱，但受益于国内企业的持续研发创新，以及“02专项”等国家政策的大力推动，国产干式真空泵行业取得显著进步，以中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司为代表的国产供应商，在技术水平、产品性能、规格型号丰富程度、产能等方面均实现了大幅提升，逐步打破外资企业的技术垄断。

以中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司为例：其通过持续研发创新，成功打破了欧美及日本企业在该领域的长期技术垄断。旗下干式真空泵产品已达到行业先进水平，可满足14nm先进逻辑芯片以及128层及以上3D NAND等高端存储器工艺的生产需求，目前已在国内各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛服务于国内主流晶圆制造企业及半导体设备厂商。同时，该产品已顺利通过台积电、SK海力士的严格测试验证，实现小批量出货，标志着国产干式真空泵获得国际顶尖晶圆制造企业的认可。此外，除硅基半导体领域外，该公司的干式真空泵产品还可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备工艺，且已实现批量交付，进一步拓展了产品应用边界，为我国半导体产业自主可控提供了重要支撑。