晶圆扩产及替换需求下半导体射频电源行业前景广阔国产订单有望逐步放量

2025-05-12 09:12

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前言：

在半导体领域，射频电源主要用于刻蚀、薄膜沉积、干法清洗、离子注入等环节。射频电源作为半导体设备的核心零部件之一，伴随半导体市场空间同步成长，未来其主要增长点来自晶圆厂新增扩产及存量替换市场需求。近年来，中国半导体射频电源展现出强劲增长势头，成全球半导体射频电源主要市场之一。全球半导体射频电源供应集中于美、日等发达地区，而国内目前尚无成熟的半导体射频电源生产商，市场主要由国外企业垄断，国产化率较低。随着半导体设备国产化的推进，北方华创恒运昌等企业在下游设备厂商的支持下逐渐崭露头角，并实现批量订单的突破。

一、在半导体领域，射频电源主要用于刻蚀、薄膜沉积、干法清洗、离子注入等环节

根据观研报告网发布的《中国半导体射频电源行业发展趋势分析与投资前景研究报告（2025-2032）》显示，射频电源是可以产生300KHz-300MHz频率的高频交流电源,主要应用于半导体、光伏、面板等领域。

在半导体领域，射频电源主要用于刻蚀、薄膜沉积、干法清洗、离子注入等环节。在干法刻蚀(等离子刻蚀)设备中，射频电源主要为其提供稳定的射频源;在薄膜沉积的PEVCD、HDPCVD、PEALD、PVD设备中，射频电源主要作用是提供稳定射频源、维持等离子体和控制高能粒及使工艺气体电离;在干法清洗、离子注入环节，射频电源主要将气体电离、提供稳定射频源以产生等离子体。

资料来源：观研天下整理

二、射频电源行业伴随半导体产业同步成长，未来增长点主要来自晶圆厂扩产及存量替换需求

射频电源作为半导体设备的核心零部件之一，伴随半导体市场空间同步成长。根据数据，2022、2023年全球半导体设备市场规模达1076亿美元、1063亿美元，全球射频电源下游设备市场规模为556亿美元、549亿美元。按照射频电源占设备价值量比率的10%，2022、2023年全球半导体射频电源市场规模达389亿元、384亿元。

射频电源未来主要增长点来自晶圆厂新增扩产及存量替换市场需求。射频发生器是射频电源的重要组成部分，2022年射频发生器在晶圆厂零部件采购中占比达10%，仅次于石英（11%）。射频电源使用寿命约为5-6年，短于半导体腔体的使用寿命，需要定期进行维保或更换，部分晶圆厂有直接备存射频电源的需求。

预计2024、2025年全球半导体设备市场规模达1090亿美元、1280亿美元，全球射频电源下游设备市场规模为563亿美元、661亿美元。预计2024、2025年全球半导体射频电源市场规模达394亿元、463亿元。

数据来源：观研天下数据中心整理

三、中国增长势头强劲，成全球半导体射频电源主要市场之一

近年来，中国半导体射频电源展现出强劲增长势头，成全球半导体射频电源主要市场之一。根据数据，2024年中国大陆半导体射频电源市场规模约达102亿元，占全球的比重达25.89%；预计2025年中国大陆半导体射频电源市场规模约达120亿元，占全球的比重达25.92%。

数据来源：观研天下数据中心整理

四、全球半导体射频电源供应集中于美、日等发达地区，中国企业崛起下国产订单有望持续放量

全球半导体射频电源市场分布集中。从区域竞争看，全球半导体射频电源市场供应主要集中在北美和日本，2022年这两个地区合计占据近60%的市场份额，其中北美占36.04%，日本占23.17%。

数据来源：观研天下数据中心整理

从企业竞争看，全球半导体射频电源头部供应厂商主要来自美、日、德，包括万机仪器MKS、先进能源AE、日本大阪变压器株式会社和XPPower等，这些企业占据绝大多数市场份额。根据数据，2021年全球前五大厂商市场份额高达80.47%。

数据来源：观研天下数据中心整理

国内目前尚无成熟的半导体射频电源生产商，市场主要由国外企业垄断，国产化率较低。但一些研发单位如北京北广科技股份有限公司、四川英杰电气股份有限公司、江苏神州半导体科技有限公司和深圳恒运昌真空技术有限公司等正在崛起。随着半导体设备国产化的推进，这些企业在下游设备厂商的支持下逐渐崭露头角，并实现批量订单的突破。

国内半导体射频电源生产商布局情况

企业名称	简介	布局情况
北方华创	北方华创是北京市国资委一级企业北京电子控股有限责任公司下属的国有控股公司，成立于2001年9月28日，2010年3月1日在深圳证券交易所上市，是一家以电子专用设备和电子元器件为主要产品，集研发、生产、销售及服务于一体的大型综合性高科技公司，目前已成为国内领先的半导体装备制造与服务商。	2020年，北方华创微电子以6397万人民币收购了北广科技射频应用技术相关资产，这一举措是北方华创在射频电源领域的重要布局。北方华创微电子是国内先进的半导体装备研发制造企业，主要产品有刻蚀机、PVD、CVD、ALD、立式炉和清洗机等，产品广泛服务于集成电路、先进封装、第三代半导体器件、半导体照明、新能源光伏等领域。射频应用技术是半导体装备产品的核心技术之一，收购有利于提高北方华创射频应用技术水平，增强北方华创微电子半导体装备产品技术开发与应用能力，更好的满足客户需求，利于双方持续发展;通过收购，北方华创在射频电源领域的市场地位得到显著提升，部分产品已实现国产替代，为公司带来了新的增长点。2024年九月北方华创在互动平台表示，随着近年来国内零部件供应商能力快速提升，公司国内采购比例也逐年增加，公司自研的射频电源已经批量应用于多款产品上。公司成功研发出高密度等离子体化学气相沉积(HDPCVD)、双大马士革CCP刻蚀机、立式炉原子层沉积(ALD)、高介电常数原子层沉积(ALD)等多款具有自主知识产权的高端设备，并在多家客户端实现稳定量产。
恒运昌	深圳市恒运昌真空技术股份有限公司是一家科技型中小企业和高新技术企业，成立于2013年3月19日，位于深圳市宝安区，专业从事等离子体射频电源系统的研发、生产、销售以及维护。主要业务:公司业务涵盖等离子体电源系统、真空获得系统、气体流量控制系统的研发设计、智能制造及技术进出口等，产品广泛应用于半导体、光伏、LED/LCD、先进工业镀膜等高端真空设备。	研发能力强，提供射频电源等“卡脖子”技术产品。公司核心团队深耕射频电源领域多年，已累计获得数十项发明专利授权，现有51个注册商标、255个专利信息和19个软件著作权，已突破多项国内现有技术，掌握全数字测量系统、全数字环路控制技术、高效宽带平衡功放技术等核心技术，主导制定了具有完全自主知识产权的全数字电源技术标准，深度参与了国家工信部和科技部的重大专项课题。经过多年研发积累和客户验证，深圳恒运昌已经打破海外供应商垄断，是率先进入IC前道设备的国内射频电源供应商。长期以来，等离子体电源系统国产化率极低，徘徊在1-5%之间，成为了集成电路产业被“卡脖子”最严重的环节之一。恒运昌陆续推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，响应了集成电路芯片制造工艺中对等离子体电源快、准、稳的核心需求，率先在国内攻克了全数字射频电源的技术难题。此外，已在28纳米及以上成熟制程的多个工艺环节实现对进口产品的替换，最新一代产品随国内龙头厂商进入14纳米先进制程终端晶圆厂，有力支撑了集成电路生产的延续性、扩产的延续性和供应链延续性。