蒸发源设备行业：线源为首选工艺国产渐受市场青睐国外厂商垄断格局被打破

2025-02-15 09:28

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一、真空蒸镀法成中小尺寸OLED面板量产主流技术，支撑蒸发源设备市场需求

OLED 有机发光层及辅助功能层的制备方法主要包括真空蒸镀法和喷墨打印法两种，其中真空蒸镀法是中小尺寸面板量产的主流技术，而喷墨打印法在技术成熟度方面还有待提升，尚未形成产业化。

根据观研报告网发布的《中国‌‌蒸发源设备‌‌行业发展趋势分析与投资前景研究报告（2025-2032年）》显示，真空蒸镀法工作原理是在真空环境中对有机发光材料加热，使之气化并沉积到基片上而获得薄膜材料，这一过程又称真空镀膜。用于实现此类制备方法的真空蒸镀设备由真空抽气系统和真空腔体组成，其中真空抽气系统涵盖（超）高真空泵、低真空泵、排气管道和阀门等组成，而真空腔体内则配置了蒸发源、晶振片及掩膜板等核心部件。在真空腔体内，设置了多个用于放置有机材料的蒸发源，这些蒸发源可以左右移动，通过加热使有机材料气化蒸发，最终沉积在基板上形成薄膜。

AMOLED 面板需蒸镀十余层有机材料，而蒸镀的厚度与均匀度为关键指标，两种参数必须以纳米级的精度进行控制，直接决定着 OLED 面板的发光效率、显示颜色以及良品率等核心性能。蒸发源作为进行蒸镀的核心组件，其性能决定着蒸镀过程中的镀膜厚度和均匀度，进而对蒸镀效果及良品率产生决定性影响，使用周期预计在十年左右，堪称蒸镀设备的“心脏”。因此，真空蒸镀法成中小尺寸OLED面板量产主流技术，支撑蒸发源设备市场需求。

资料来源：观研天下整理

二、蒸发源工艺以线源为主，面源应用尚未成熟

蒸发源根据其宏观形态的不同，可分为点源（Point Source）、线源（Linear Source）和面源（Planar/AreaSource）。

点源主要应用于实验室制备器件，而面源工艺尚未实现规模产业化。对于高世代 OLED 蒸镀线或高分辨率 OLED 蒸镀，线源仍为首选工艺。

截至 2020 年下旬，主流在建的 6 代 AMOLED 产线均广泛采用线源技术，同时，LG 的 8.5 代线目前也主要采纳线源蒸镀工艺。

各类蒸发源特性、技术与市场前景比较

比较项目	点源	线源	面源
主要特性	束状蒸镀，材料装填在桶状的坩埚内；在蒸镀时，蒸发源为固定位置，基板旋转，材料蒸镀以蒸发源为中心扇面状发散沉积在基板上。	线状蒸镀，材料装填在长方体状的坩埚内；在蒸镀时，蒸发源来回移动，基板固定，采用线状扫描方式将材料沉积在基板上。	面状蒸镀，材料先蒸镀到面源表面；在蒸镀时，蒸发源与基板一般不发生相对位移或仅发生小幅度位移。
技术难度	受自身蒸镀特点影响，在成膜精度、材料利用率、成膜均匀性、蒸镀阴影控制等关键方面欠佳。	与点源相比，在设备构造复杂度、设计、生产技术难度方面明显加大，技术门槛高，成本高。	尺寸增大，结构复杂，目前难于在量产线上实现。
市场前景	仅适用于试验线或小型蒸镀线，如 4.5 代以下 OLE D 产线。目前高世代 OLED 有机层蒸镀已不使用点源，仅在金属电极层蒸镀少量使用。	高世代 OLED 蒸镀线或者高分辨率 OLED 蒸镀，一般使用线源。目前主流在建的 6 代AMOLED 线均使用线源，LG 的 8.5 代线目前采用的也主要是线源蒸镀工艺。	主要针对超高世代与超高分辨率 OLED 蒸镀工艺，其技术难度要求极高。从目前来看，面源市场应用还不成熟，实现量产还需要很长时间。

资料来源：观研天下整理

三、国产逐渐受到市场青睐，国外厂商垄断蒸发源设备格局被打破

全球多家精密设备企业均对蒸发源进行了开发和研制，其中，三大国际知名厂商--日本爱发科、韩国 YAS、韩国 SNU掌握了大部分专利和核心技术，占据蒸发源设备主导。

蒸发源设备国际知名厂商简介

公司名称	基本情况	主要产品	业务特点
日本爱发科	成立于 1952 年，日本上市公司，全球领先的真空应用设备生产商，其设备主要应用于面板和半导体制造业和其他一般产业。	蒸镀设备	拥有丰富的应用程序，可适用于新开发的蒸发源，对应基板的尺寸在 2 代线以上
韩国 YAS	成立于 2002 年，韩国上市公司，OLED 工艺设备制造商	蒸镀设备	与 LG 合作，合作开发高世代蒸镀设备
韩国 SNU	成立于 1998 年，韩国上市公司，OLED 以及 LCD行业相关设备制造商	蒸镀设备与检测设备	与 LG 合作，合作开发高世代蒸镀设备