前言:
扫描电子显微镜(SEM)作为高分辨率微观形貌与成分分析的核心仪器,在材料科学、半导体、生命科学等领域应用广泛。2025年我国扫描电镜中标市场总金额达18亿元,采购534台套,华东、华北地区需求集中,高校为最大采购主体。在研发经费持续增长(2024年达3.6万亿元)与“科技自立自强”政策强力驱动下,国产品牌如国仪量子表现亮眼,但高端市场仍由进口主导。随着AI与自动化技术深度融合,扫描电镜正从传统观测工具向智能化分析平台演进,国产替代空间广阔,行业前景可期。
1、扫描电子显微镜定义
根据观研报告网发布的《中国扫描电子显微镜行业发展趋势分析与未来前景研究报告(2026-2033年)》显示,电子显微镜的工作原理为将一束极细的照明电子束以一定方式照射到样品上,电子束和样品间的相互作用产生带有样品信息的信号,将这些信号收集、放大形成样品的放大图像,最后被记录。电子显微镜主要包括扫描电子显微镜、双束电子显微镜、透射电子显微镜。
电子显微镜主要种类简介
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特性 |
扫描电镜 |
双束电镜 |
透射电镜 |
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成像原理 |
利用电子束扫描样品表面,通过检测二次电子、背散射电子或特征X射线形成图像。 |
结合扫描电镜和聚焦离子束,既可以成像又可以进行样品加工。 |
利用高能电子束透过超薄样品,通过检测透射电子形成图像。 |
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主要应用 |
样品表面形貌观察、成分分析 |
纳米级别的样品加工和高分辨率成像、透射电镜样品制备、失效分析 |
样品内部结构、高分辨率晶体结构和缺陷分析 |
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样品要求 |
导电或经过导电处理的样品,无需对样品进行其他特殊处理。 |
导电或经过导电处理的样品,无需对样品进行其他特殊处理。 |
样品厚度需控制在百纳米或十纳米层级,对于不同材料特性的样品需使用不同的制备方式。 |
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电子枪加速电压 |
0.02kV-30kV |
0.02kV-30kV(离子束加速电压为0.5kV-30kV) |
100-300kV |
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分辨率 |
钨灯丝型2-5nm;场发射型可达1nm及以下 |
电子束分辨率可达1nm及以下;离子束分辨率可达3nm |
最高可达0.1nm |
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图像信息 |
表面三维图像 |
表面三维图像 |
二维内部结构投影图像 |
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加工能力 |
有限 |
具备纳米级别的刻蚀和沉积能力 |
无 |
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成本 |
相对较低 |
较高 |
高 |
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技术复杂度 |
相对简单 |
较复杂(需要同时操作扫描电镜和离子束) |
复杂(设备原理复杂,样品制备和操作要求高) |
资料来源:观研天下整理
其中,扫描电子显微镜是一种分辨能力介于光学显微镜和透射电镜之间的微观分析仪器。相比透射电镜,扫描电镜具有制样简单、对样品损伤小、成本较低等特点。
扫描电子显微镜的优势
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优势 |
具体说明 |
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分辨率高 |
场发射扫描电镜的分辨率一般在10nm以内,最高可以达到1nm以下。 |
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景深大 |
景深比透射电镜高一个量级,可以直接观察各种如拉伸、挤压、弯曲等断口形貌及松散的粉体样品,得到的图像富有立体感;通过改变电子束的入射角度,可以对同一视野进行立体观察和分析。 |
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制样简单 |
对于金属等导电样品可以直接观察,对于不导电样品需要镀膜后观察。 |
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电子损伤小 |
扫描电子束的直径一般在3nm至几十纳米,强度一般为10-11~10-9A,能量比透射电镜小,加速电压可以小到0.02kV,并且电子束在样品上动态扫描,对样品的电子损伤小,尤其适合高分子样品。 |
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可实现综合分析 |
扫描电镜中可以同时组装其他观察仪器,如波谱仪、能谱仪等,实现对样品的表面形貌、微区成分等方面的综合同步分析。 |
资料来源:观研天下整理
扫描电镜可以对样品表面微观形貌和元素成分进行表征分析,根据其使用的电子枪类型不同,扫描电镜可进一步细分为钨灯丝扫描电镜与场发射扫描电镜。钨灯丝扫描电镜价格便宜,对使用环境要求不高,但分辨率较低、电子枪使用寿命较短;场发射扫描电镜分辨率较高,电子枪使用寿命较长,但价格和对使用环境的要求较高。
2、我国扫描电子显微镜中标金额过亿,区域需求格局呈现出明显的头部集中特征
扫描电镜作为兼具高分辨率形貌表征与微区成分分析能力的关键检测设备,其市场格局备受关注。根据2025年扫描电镜中标数据发现,技术先进的场发射扫描电镜已成为采购的主流;与此同时,市场竞争格局呈现“高端市场进口主导,国产品牌强势突围”的态势,其中国仪量子作为领跑者,表现尤为亮眼。
根据数据,2025年我国扫描电镜中标市场总金额达18亿元,采购数量达534台套,采购需求广泛覆盖385个采购主体,26个中标品牌共同构成了市场的多元竞争格局。2024年我国扫描电镜行业需求量为547台,2018—2024年年复合增长率达10.41%。
区域需求格局呈现出明显的头部集中特征。数据显示,华东地区以27.7%的采购金额占比居首,华北地区以22.2%紧随其后,二者合计占比近五成;西南、华中、东北、西北、华南地区的采购金额占比依次递减。在省市级维度上,北京市以2.6亿元的中标金额遥遥领先,是第二名广东省的两倍以上;广东省、四川省、浙江省以超1.1亿元构成第二梯队。
数据来源:观研天下整理
采购主体方面,高校以58.6%的中标金额占比成为最大采购主体,工业企业以19.2%的占比紧随其后,科研院所则以13.0%的占比位列第三,三者合计占比超九成。
数据来源:观研天下整理
3、研发经费投入增加叠加政策支持,我国扫描电子显微镜行业市场规模不断扩大
此外,近年来我国对基础科学研究的重视程度不断提高,2018年我国研究与实验经费投入为19678亿元,到2024年增长至36130亿元,年复合增长率达10.4%。作为科研领域获取实验数据、分析实验结果的关键设备,快速增长的经费投入带动了扫描电镜市场的蓬勃发展。
与此同时,扫描电镜作为高端科学仪器的代表,受到国家和地方层面的高度重视和政策强力支持。例如,2026年《政府工作报告》明确提出要“加快推动高水平科技自立自强”,高端科学仪器是重点攻坚领域。工业和信息化部发布2025年未来产业创新任务揭榜挂帅工作,将高分辨透射电子显微镜纳入重点攻关任务,要求突破核心仪器瓶颈。
地方省市也积极跟进,如北京海淀区发布《科学仪器先锋领航行动计划(2025-2027年)》,布局国产高端冷冻电镜、扫描探针显微镜等高分辨场发射扫描电镜,聚焦高性能场发射电子枪、真空和超高真空技术等关键零部件的自主突破,并探索人工智能赋能科学仪器的新路径;上海市发布2025年度“科学仪器”项目,重点支持高端显微镜关键零部件研制和整机产品技术难点攻关,每项资助额度不超过400万元。可见,国家层面强调核心技术自主可控与未来产业布局,地方层面注重具体产品突破与产业链建设,形成“自上而下”的政策合力,为国产扫描电镜行业的发展注入了持续动力。
基于此,近年来,我国扫描电子显微镜行业市场规模不断扩大。数据显示,2024年,我国扫描电子显微镜市场规模约为20.11亿元,近三年复合增长率达9.4%。
数据来源:观研天下整理
而随着AI与自动化技术的不断渗透,扫描电镜的应用需求正从“看清结构”向“自动获取结论”转变,智能扫描电镜、AI扫描电镜正从概念走向实际应用。自动化成像流程(一键对焦、自动曝光、自动拼接大面积图像)、AI辅助分析能力(自动识别颗粒、缺陷并生成报告)、批量检测与无人值守将是未来SEM的主流形态。AI与机器学习的融合正在大幅减少人工干预、加速实验通量。
同时,原位扫描电镜、4D-STEM、双束电镜等前沿技术方向正在快速发展,国产EBSD(电子背散射衍射仪)样机已研制成功,实现了花样标定、相鉴定、面分布采集等进口设备的基本功能,有望提升我国在高端材料表征仪器领域的竞争力。(WYD)
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