受益于技术优势及下游发展我国真空镀膜设备行业将持续扩容但国产化率仍待提升

2025-04-23 10:35

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前言：

随着智能手机出货量、集成电路及光电器件产量增长，市场对真空镀膜技术需求多，真空镀膜设备迎来增长机遇。与传统镀膜方法相比，真空镀膜技术具有低污染特性，对周围环境影响较小。随着国家对环保问题日益重视，真空镀膜技术应用向医疗器械、航空航天、太阳能等其他领域拓展。在此背景下，我国真空镀膜设备市场规模将进一步扩容。目前磁控溅射设备为市场主流，占据了国内真空镀膜设备行业的半壁江山；其次是CVD镀膜设备，占比超35%。

国内真空镀膜设备行业快速发展的同时，也面临较大的挑战。一方面，真空镀膜设备制造商技术水平与国外相比存在差距，布局以中低端市场为主，产品同质化严重，导致高端市场被跨国公司占领；另一方面，上游核心部件如电源、真空泵等主要依赖进口，制约了真空镀膜设备行业的发展。整体来看，真空镀膜设备行业国产化率待提升。

一、受益于技术优势及消费电子等下游市场发展，我国真空镀膜设备行业将持续扩容

根据观研报告网发布的《中国真空镀膜设备行业现状深度分析与投资前景研究报告（2025-2032年）》显示，真空镀膜是表面处理技术的一项分支，是指为了减少杂质的干扰，在高度真空环境下，通过物理或化学手段，将金属、非金属或化合物材料（膜材）转换成气态或等离子态，并沉积于玻璃、金属、陶瓷、塑料或有机材料等固体材质（简称基材、基板或基片）表面形成薄膜的过程。

与电镀、化学镀膜等传统镀膜方法相比，真空镀膜使用的镀膜材料种类更丰富、膜层厚度更易控制、附着力更强、适用范围更广。

在消费电子领域，显示面板生产过程中玻璃基板要经过多次磁控溅射镀膜形成 ITO 玻璃，再经过镀膜覆盖，加工组装用于生产液晶显示器的显示面板。另外，消费电子产品中的金属结构件、摄像头、玻璃应用等均需要真空镀膜工艺。在集成电路领域，集成电路中所使用的薄膜产品包括电极互连线膜、阻挡层薄膜、接触薄膜、光刻薄膜、电容器电极膜、电阻薄膜等都要用到溅射镀膜工艺。在光学光电子元器件领域，真空镀膜技术在光学镜头、光学传感器等部件的生产制造中均有广泛的应用。

随着智能手机出货量、集成电路及光电器件产量增长，市场对真空镀膜技术需求多，真空镀膜设备迎来增长机遇。根据数据，2018-2022年，我国真空镀膜设备市场规模由 356.32 亿元增长至 577.87 亿元，CAGR为 12.85%。

数据来源：观研天下数据中心整理

与电镀、化学镀膜等传统镀膜方法相比，真空镀膜技术还具有低污染的特性，对周围环境影响较小。随着国家对环保问题的日益重视，真空镀膜技术正逐渐成为主流表面处理技术，应用向医疗器械、航空航天、太阳能等其他领域拓展。在此背景下，我国真空镀膜设备市场规模将进一步扩容，预计2026年我国真空镀膜设备市场规模将超750亿元,2022-2028年CAGR为7.3%。

资料来源：观研天下整理

数据来源：观研天下数据中心整理

二、磁控溅射设备为国内真空镀膜设备行业主流，市场占比超五成

真空镀膜技术主要分为物理气相沉积（PVD）技术和化学气相沉积（CVD）技术。PVD 技术包括蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀等，CVD 技术包括低压 CVD（LPCVD）和等离子增强 CVD（PECVD）等。

资料来源：观研天下整理

目前磁控溅射设备为市场主流，占据了国内真空镀膜设备行业的半壁江山；其次是CVD镀膜设备，占比超35%；此外，PVD镀膜设备占比达7%左右。

数据来源：观研天下数据中心整理

三、国内真空镀膜设备行业仍面临较大挑战，国产化率待提升

国内真空镀膜设备行业快速发展的同时，也面临较大的挑战。一方面，我国部分真空镀膜设备制造商整体技术水平与国外先进水平仍存在差距，布局以中低端市场为主，产品同质化严重,导致高端市场主要被应用材料（ Applied MaterialsInc.）、爱发科（ULVAC）、德国莱宝（Leybold）等资金实力雄厚、技术水平领先、产业经验丰富的跨国公司占领。另一方面，上游核心部件如电源、真空泵等主要依赖进口，制约了真空镀膜设备行业的发展。整体来看，真空镀膜设备行业国产化率待提升。

国内外真空镀膜设备代表厂商

类别	公司名称	设备类型	应用场景	相关业务
海外企业	应用材料	真空镀膜设备	半导体、显示器	主要向半导体、显示器及相关行业提供制造设备、服务和软件，在半导体领域的主要产品为芯片制造领域的各种制造设备。
	日本光驰株式会社	真空镀膜设备	半导体、显示器、光通信	主要从事光学薄膜设备及其相关零部件的制造和销售，产品广泛应用于 LED 显示、光通信、半导体、消费电子等领域。
	德国莱宝	真空镀膜设备	半导体、光伏、医疗器械	主要从事真空泵、真空系统、以及包括真空镀膜设备在内的真空应用设备的制造和销售，该公司产品目前主要为光学、光伏、半导体、医疗器械等。
	冯·阿登纳	真空镀膜设备	光伏、显示屏	主要产品为玻璃、晶片、金属带和聚合物薄膜等材料上的真空镀膜开发和生产工业设备，应用于太阳能热电站建筑玻璃，智能手机和触摸屏的显示屏等领域。
	爱发科	真空镀膜设备	半导体、显示器、光伏	主要从事真空机械业务、真空应用等业务等立品主要应用在能源、环保、运输、医药、食品、化工、生物工程等领域。
国内企业	晟成光电	团簇型多腔式蒸镀设备	光伏	晟成光伏的团簇型多腔式蒸镀设备，具备完全自主知识产权，设备整体配置上料腔、传输腔及工艺腔，传输腔内配置有自主开发的真空机械手臂，用于实现各腔室间的基材传输，工艺腔可蒸镀多样性的钙钛矿材料。目前 PVD 镀膜设备占钙钛矿整线的价值比例大概在 50%左右。目前主要开发的设备还有真空干燥设备和前段的清洗设备。
	捷佳伟创	立式反应式等离子体镀膜设备	光伏	捷佳伟创在获得某央企研究院的钙钛矿低温低损薄膜真空沉积设备订单，以及某国家科学院的反应式等离子镀膜设备订单后，自主研发的钙钛矿共蒸法真空镀膜设备也顺利的再次取得订单，公司成功中标了某全球头部光伏企业的钙钛矿电池蒸镀设备项目。
	欣奕华	Inline 钙钛矿真空镀膜机	光伏	合肥欣奕华研发钙钛矿太阳能电池生产的关键量产设备 Inline 钙钛矿真空镀膜机已交付国内钙钛矿产业知名公司投入生产。
	奥来德	线蒸镀源设备钙钛矿蒸镀设备	光伏、显示器	OLED 有机材料与应用部件龙头奥来德公告使用超募资金投资建设钙钛矿结构型太阳能电池蒸镀设备的开发项目，投资额 2900 万元。
	泰科诺	真空镀膜设备	光通信、光伏	主要研发设计生产蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、多功能复合镀膜机、粉体镀膜设备、高真空应用炉等设备。
	四盛科技	真空镀膜设备	半导体、光学器件	从事复合集流体 PVD 镀膜设备研发、销售真空镀膜设备、光学镀膜设备、卷绕镀膜设备、连续式磁控溅射镀膜设备、半导体 PVD 设备等真空应用解决方案的国家高新技术企业。
	汇成真空	真空镀膜设备	半导体、光伏	研发、生产和销售各类光学镀膜设备、功能性薄膜涂层设备、装饰涂层设备、卷绕镀膜设备、汽车零部件镀膜设备、连续式磁控溅射镀膜生产线、超高真空系统等真空设备、半导体设备、电子生产设备、光电设备、光伏设备、动力电池设备及产品相关配件的国家高新技术企业。
	宏大真空	真空镀膜设备	光伏、显示器、建筑玻璃	集研发、设计、生产、销售于一体的专业从事真空镀膜设备制造的企业，在国内高端真空镀膜设备领域的市场占有主导地位。