半导体设备市场快速发展带动静电卡盘行业规模增长 国产化替代需求迫切

1、静电卡盘概述

根据观研报告网发布的《中国静电卡盘行业发展深度研究与投资前景分析报告（2024-2031年）》显示，卡盘是一种常见的夹紧装置，主要用于固定工件以便进行加工、测量、装配等操作。卡盘可以根据其工作原理、结构形式、夹紧方式等方面的不同，分为多种类型，常见的卡盘类型包括：机械卡盘、真空卡盘、静电卡盘等。其中静电卡盘由于其对工件损伤小、精度高等特点，被广泛运用于半导体制造工艺等需要精密加工的场景。

静电卡盘（E-Chuck），是利用静电吸附原理将待加工晶圆吸附在其表面，并且可以通过背吹气体来控制晶圆表面温度的设备，其主要由介电层、电极层、基底层三大部分组成。这三个部分以层状结构由表向里堆叠而成，内部还镶嵌有电极柱、气体通道、粘结材料等部分。

卡盘分类及特点

资料来源：观研天下整理

2、半导体设备规模持续扩张，静电卡盘前景可观

近年来，随着5G、人工智能、物联网快速发展以及国家政策对半导体产业大力扶植，我国半导体设备市场规模不断扩大。根据数据显示，2022年我国大陆半导体设备市场规模约为283亿美元，同比下降4.6%。

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静电卡盘使用寿命约为2年，短于半导体腔体的使用寿命，部分晶圆厂有直接备存静电卡盘的需求。根据数据，我国晶圆厂采购的静电卡盘金额占所有采购零部件产品的9%。因此，随着我国半导体设备市场规模持续扩张，静电卡盘前景可观。

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3、半导体设备市场规模持续扩张带动静电卡盘市场规模的增长

根据数据显示，2021年全球静电卡盘市场销售额17.1亿美元，2017-2021年的复合年增长率为2.5%，预计2028年市场销售额将达到24.1亿美元，2022-2028年的年复合增长率为5.1%。

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4、静电卡盘存在被“卡脖子”风险，国产化替代需求迫切

目前，我国静电卡盘市场被Applied Materials、Shinko、TOTO、NTK等美、日制造商高度垄断。而在2023年5月23日，日本经济产业省正式公布了《外汇法》法令修正案，将先进芯片制造所需的23个品类的半导体设备列入出口管理的管制对象，其中包括具有20个以上温控区静电卡盘的各向异性刻蚀设备。由此可见，我国静电卡盘国产化替代迫在眉睫。

不过，目前，国产企业已经开展静电卡盘研发，并且已取得了许多实质性的进展。例如，华卓精科、海拓创新、中瓷电子、富创精密、珂玛科技等国家国内企业开始了静电卡盘相关的研发生产工作。其中，华卓精科已开发出12寸 PVD氮化铝静电卡盘，已实现小规模量产。

我国国产企业静电卡盘布局

资料来源：观研天下整理（WYD）