1、概述
电子气体包括大宗电子气体和电子特种气体，是集成电路、显示面板、半导体照明、光伏等行业生产制造过程中不可或缺的关键性材料，是集成电路制造的第二大制造材料，仅次于硅片，占晶圆制造成本的13%。电子特种气体主要应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节，主要分为三氟化氮等清洗气体、六氟化钨等金属气相沉积气体等。
电子特种气体下游应用情况
| 应用行业 | 主要用途 | 主要气体 |
| 集成电路 | 成膜 | 六氟化钨（WF6）、四氟化硅（SiF4）、乙炔（C2H2）、丙烯（C3H6）、氘气（D2）、乙烯（C2H4）、硅烷（SiH4）、氧氩混合气（Ar/O2）、氘代氨（ND3）等 |
| 光刻 | 氟氪氖（F2/Kr/Ne）、氪氖（Kr/Ne）等混合气 | |
| 刻蚀、清洗 | 三氟化氮（NF3）、六氟乙烷（C2F6）、八氟丙烷（C3F8）、八氟环丁烷（C4F8）、六氟丁二烯（C4F6）、氟化氢（HF）、氯化氢（HCl）、氧氦（O2/He）、氯气（Cl2）、氟气（F2）、溴化氢（HBr）、六氟化硫（SF6）等 | |
| 离子注入 | 砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、四氟化锗（GeF4）、三氟化硼（11BF3）等 | |
| 其他 | 六氯乙硅烷（Si2Cl6）、六氯化钨（WCl6）、四氯化钛（TiCl4）、四氯化铪（HfCl4）、四乙氧基硅（Si（OC2H5）4）等 | |
| 显示面板 | 成膜、清洗 | 三氟化氮（NF3）、硅烷（SiH4）、氨气（NH3）、笑气（N2O）、氧氩混合气（Ar/O2）、氯化氢氢氖混合气（HCl/H2/Ne）等 |
| 半导体照明 | 外延 | 砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、三氯化硼（BCl3）、氨气（NH3）等 |
| 光伏 | 沉积、扩散、刻蚀 | 三氟化氮（NF3）、硅烷（SiH4）、氨气（NH3）、四氟化碳（CF4）等 |
数据来源：观研天下整理
2、全球电子特种气体市场容量分析
根据观研报告网发布的《中国电子特种气体市场竞争现状分析与投资战略调研报告（2023-2030年）》显示，近年来，随着集成电路及显示面板等下游市场需求增长，电子特种气体作为其生产过程中的重要原材料之一，市场规模也呈稳步增长趋势。根据数据显示，全球电子特种气体行业市场规模从2017年的36.91亿美元增加至2021年的45.38亿美元，2017-2021年复合增长率为5.30%，预计2025年市场规模将超过60亿美元，2021-2025年复合增长率预计达到7.33%。
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3、中国电子特种气体市场容量分析
在中国市场，受益于半导体产业投资加速及“碳中和”、“碳达峰”推动光伏行业发展，使得我国电子气体行业需求保持高速增长态势。根据数据显示，2021年我国电子气体行业市场规模约为195.80亿元，预计2025年市场规模将达到316.60亿元，2021-2025年复合增长率为12.77%，市场规模增长率明显高于全球电子气体增长率，未来有较大发展空间。
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具体从下游应用市场分析，目前我国电子特种气体行业主要应用于集成电路，其市场份额占行业总需求的42%，其次是显示面板行业，市场份额占比37%。
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（1）集成电路
近年来，受下游市场需求牵引，以及在国家和地方专项投资基金等相关方的协同下，我国集成电路产业迎来新的发展机遇。根据IC Insights数据，2020年我国集成电路市场需求为1430亿美元，2025年预计达到2230亿美元，复合增长率9.29%；集成电路制造产值为227亿美元，自给率为15.87%，预计2025年产值将达到432亿美元，自给率将提高到19.37%，复合增长率达13.73%。
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因此，随着集成电路产业规模持续扩大，推动我国电子特种气体市场进入快速发展时期。根据数据显示，2021年我国集成电路用电子气体行业市场规模为76亿元，预计2025年规模将达134亿元，2021-2025年复合增长率为12.05%，步入了快速发展的轨道。同时，在我国集成电路用电子气体中，电子特种气体市场规模约占64%。
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（2）显示面板
近年来，在国家产业政策支持、技术实现突破等多重利好因素的推动下，我国显示面板行业发展迅速，并且形成以京东方、TCL 科技、深天马、维信诺等重点企业领衔的产业集群，全球产能占比超过六成，进一步带动电子特种气体市场稳健发展。根据数据显示，2020年中国大陆显示面板行业市场规模达91.1百万平米，预计2024年将达116.5百万平米，2020-2024年复合增长率为6.34%。
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4、电子特种气体市场竞争格局
目前，全球电子气体行业CR10高达90%以上，其中林德、液化空气、大阳日酸和空气化工凭借着较强的技术服务能力、品牌影响等优势占据生产主导地位，市场份额超过70%。
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具体到电子特种气体领域，全球主要生产企业为SK Materials、关东电化、昭和电工、派瑞特气等，这些企业虽然在总体规模上和电子气体的4大国际巨头存在差距，但在细分领域具有较强的竞争力；我国电子特种气体企业主要有派瑞特气、南大光电、昊华科技等。
国内外电子特种气体主要生产企业情况
| 地区 | 企业名称 | 主要业务情况 |
| 国外 | SKMaterials | 隶属于SK集团，是韩国三大企业集团之一，以能源化工、信息通讯半导体、营销服务为三大主力产业。SKMaterials是三氟化氮、六氟化钨主要供应商。 |
| 关东电化 | 主营业务为基础化学品、精密化学品以及铁业务，特种气体主要产品有六氟化硫、四氟化碳、三氟甲烷、六氟乙烷、三氟化氮、等氟化气体，电池材料主要产品为六氟磷酸锂、硼氟化锂等。 | |
| 林德 | 主要产品包括氧气、氮气、氩气、稀有气体、碳氧化物、氦气、氢气等。 | |
| 液化空气 | 业务遍布全球，主要为冶金、化工、能源等行业供应氧气、氮气、氩气、氢气、一氧化氮等产品，为汽车、制造业、食品、医药、科技等行业提供工业气体、制气设备、安全装置等。 | |
| 大阳日酸 | 在亚洲、欧洲、北美等地设有30多家子公司，主营业务覆盖钢铁、化工、电子、汽车、建筑、造船、食品和医药等多个领域。可提供现场制备气体和储存气体相关设备业务。 | |
| 空气化工 | 主营业务为销售和服务空分气体、特种气体、气体设备等。主要产品为大宗气体与稀有气体。2016年10月，空气化工将服务于半导体制程行业的化合物特种气体业务剥离。 | |
| 昭和电工 | 主营业务涉及石油、化学、无机、铝金属、电子信息等多种领域。产品包括高纯四氟甲烷、三氟甲烷、二氟甲烷、六氟乙烷、三氯化硼、氯、溴化氢、六氟化硫、氨等。 | |
| 国内 | 南大光电 | 主营业务为先进前驱体材料、电子特气、光刻胶及配套材料等三大关键半导体材料的研发、生产和销售。在电子特种气体领域，产品主要包括氢类和含氟电子特气。 |
| 昊华科技 | 主营业务分为高端氟材料、电子化学品（含电子特种气体）、航空化工材料、工程及技术服务四大板块。在电子特种气体领域，产品主要为三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫等。 | |
| 华特气体 | 主营业务以特种气体的研发、生产及销售为主；主要产品包括高纯六氟乙烷、高纯四氟化碳、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯氨、高纯一氧化氮等。 | |
| 金宏气体 | 主营业务特种气体、大宗气体和天然气。主要特种气体产品超纯氨、氢气、氧化亚氮、氦气、混合气、医用气体、碳氟气体等。 | |
| 雅克科技 | 主营业务包括电子材料、液化天然气保温板材和阻燃剂，电子材料包括半导体前驱体材料/旋涂绝缘介质（SOD）、电子特种气体、半导体材料输送系统（LDS）、光刻胶和硅微粉等产品。 |
数据来源：观研天下整理（WYD）
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