中国已成全球半导体流量计最大单一市场 行业国产替代加速与技术创新并行

一、半导体流量计行业相关定义

流量计在工业自动化和过程控制中占据着举足轻重的地位，它们能够实时且精确地监控流体（无论是液体还是气体）的流动状态，这对于保障生产流程的稳定性和提升效率至关重要。在众多流量计类型中，半导体流量计凭借其卓越的高精度与多功能特性，在高纯度半导体制造领域内获得了广泛应用。该类流量计专为半导体行业对流体极高纯净度和测量精度的需求而打造，不仅能测量流体的质量流量率，还能累积计算出总质量，这对于原材料投入的精准控制和生产成本的精确核算具有重大意义。

半导体流量计（MFM）与质量流量控制器（MFC）有所区别。MFC通常内置阀门，具备控制流体流量的功能；而半导体流量计专注于检测流体的质量流量，不提供流量控制功能。在气体应用场合，它能够监测气体的累积流量（即使用量），或者作为质量流量控制器调节气体流量时的双重校验工具或便捷参考设备。对于液体流量测量，质量流量计还配备有控制信号，用以调控液体控制阀及汽化器内部集成的流量控制阀。

半导体流量计分类

资料来源：观研天下数据中心整理

二、全球半导体流量计行业市场规模与区域分布

全球半导体销售额稳步增长，2024年首次突破6,000亿美元大关。半导体行业销售规模与下游景气度密切相关，近年来，受益于AI、IoT、5G和汽车电子等新兴技术的快速发展和普及，尤其是AI芯片、数据中心等高性能计算领域需求激增，全球半导体销售额实现稳步增长。根据美国半导体行业协会（SIA）数据，2024年全球半导体销售金额为6,188.9亿美元，同比增长19.09%，首次突破6,000亿美元大关。其中，中国2024年半导体销售金额为1,822.4亿美元，同比增长20.03%，占全球销售额比重接近30%。

数据来源：美国半导体行业协会（SIA），观研天下数据中心整理

在半导体制造这一微观战场上，每立方厘米气体的精准流动都对万亿级产业的发展起着决定性作用。当行业迈入埃米级制程与三维异构集成时代，气体质量流量计（MFC）作为“隐形控制者”，正从幕后走向台前，成为突破物理极限的关键因素。半导体流量计凭借其高精度与多功能特性，在高纯度半导体制造领域得到广泛应用。作为气体与液体流量的关键部件，它在半导体设备的沉积、刻蚀、离子注入等关键工艺中不可或缺。2024年全球半导体流量计市场规模约为3.24亿美元，2025年上半年为2.04亿美元。

数据与：观研天下数据中心整理

三、中国半导体流量计行业发展状况情况介绍

1、中国半导体流量计行业发展历程回顾

（一）早期萌芽（20世纪50年代-80年代）

在20世纪50年代至70年代，中国测量气体流量的仪器及装置行业处于初创阶段，半导体流量计领域更是近乎空白。当时国内工业基础薄弱，半导体产业尚在萌芽，对于半导体流量计这类高精度、高技术含量的仪器，完全依赖进口。国内仅有少数科研机构和企业开始尝试涉足相关基础研究与简单产品生产，但技术水平远远落后于国际先进水平，产品种类极为有限，仅能满足石油、化工等少数行业一些最基本、对精度要求不高的流量测量需求，在半导体制造领域几乎没有实际应用。

进入80年代，随着改革开放推进，国内石油、化工等行业快速发展，对流量计量设备需求日益增长，间接推动了包括半导体流量计相关技术的探索。国内企业和科研机构开始关注国际上先进的流量测量技术，部分有实力的单位尝试引进国外较为基础的流量测量技术资料与少量关键设备，进行初步消化吸收，开启了技术积累的缓慢进程。不过，在半导体流量计核心技术上，依然未能取得实质性突破，与国际前沿的差距依然巨大。

（二）技术引进与探索发展（20世纪90年代-21世纪初）

20世纪90年代，全球半导体产业迎来快速扩张，产业转移趋势初现。中国抓住机遇，加大半导体产业投入，半导体流量计作为关键配套部件，其重要性日益凸显。国内企业和科研机构进一步加大对国外先进技术的引进力度，尤其是在气体流量测量技术方面，与国外企业开展技术交流、合作项目等。

这一时期，国内部分企业通过与国外厂商合作生产、技术许可等方式，逐步掌握了一些中低端半导体流量计的生产技术，开始能够生产出满足国内半导体产业部分基础需求的产品，如在一些对精度要求相对不高的半导体制造辅助环节有所应用。同时，国内企业也在积极探索自主研发之路，加大研发投入，培养专业技术人才，努力提升产品质量与性能，逐渐缩小与国际先进水平在中低端产品领域的差距，但在高端产品方面，依然严重依赖进口。

（三）快速追赶与局部突破（21世纪初-2010年代）

进入21世纪，国家对节能减排和工业自动化升级高度重视，出台一系列政策支持相关产业发展，半导体流量计行业迎来重要发展契机。国内企业在前期技术积累基础上，技术实力不断提升。一方面，持续改进中低端产品性能，提高产品稳定性与精度，扩大市场份额；另一方面，开始向高端产品领域发起冲击。

在技术研发上，企业与高校、科研机构加强产学研合作，攻克了一系列关键技术难题。例如，在传感器技术、信号处理技术等方面取得进展，使得半导体流量计测量精度、响应速度等关键性能指标得到显著提升。部分国内领先企业，如北京华丞电子（七星华创）等，开始在中低端市场崭露头角，凭借性价比优势逐步替代部分进口产品，市场竞争力逐渐增强。

同时，随着国内半导体产业规模不断扩大，对半导体流量计需求持续增长，应用场景也不断拓展，从最初简单辅助环节，逐渐深入到沉积、刻蚀等关键工艺环节，推动企业不断进行技术创新与产品升级。

（四）国产替代加速与技术创新并行（2010年代至今）

近年来，国际贸易环境不确定性增加，美国对华技术封锁政策持续升级，给中国半导体产业发展带来严峻挑战，也进一步凸显半导体流量计国产化的紧迫性。在此背景下，国家进一步加大对半导体产业及相关配套产业扶持力度，出台多项政策鼓励国产替代，为国内半导体流量计企业发展创造良好政策环境。

国内企业积极响应，持续加大研发投入，在高端半导体流量计技术研发上取得一系列突破。例如，部分企业在质量流量控制器（MFC）等核心产品技术上取得进展，产品精度、稳定性等性能指标达到国际先进水平，逐步打破国际巨头在高端市场的垄断局面。同时，随着微电子技术、人工智能技术快速发展，国内企业紧跟技术发展趋势，将新技术应用于半导体流量计产品研发，推动产品向智能化、模块化方向发展，提升产品附加值与市场竞争力。

在市场方面，国内企业凭借国产替代政策优势、成本优势以及本地化服务优势，在中低端市场快速渗透，市场份额不断扩大，并逐步向高端市场拓展。目前，中国已成为全球半导体流量计的最大单一市场。在生产制造上，中国在MFM/MFC领域的技术进步与政策支持正逐步改变全球格局，预计中国生产份额将不断提升。中国半导体流量计行业正处于国产替代加速与技术创新并行的快速发展阶段，未来有望在全球半导体流量计市场中占据更加重要地位。

2、中国半导体流量计行业政策环境

根据观研报告网发布的《中国半导体流量计行业现状深度研究与发展前景预测报告（2026-2033年）》显示，近年来，中央及地方政府对半导体行业给予了高度重视和大力支持，出台了一系列扶持政策，相关政策和法规为半导体及行业及专用设备行业提供了资金、税收、技术和人才等多方面的有力支持，为国产半导体流量计企业营造了良好的经营环境，大力促进了国内半导体及其专用设备产业发展，提升国产半导体流量计企业的竞争力。

中国半导体流量计相关政策

资料来源：观研天下数据中心整理

3、中国半导体流量计行业经济环境

经济的发展态势对半导体流量计行业有着深远影响。近年来我国经济建设取得了巨大成就，经济发展速度跃入世界前列，并保持中高速发展水平，国内生产总值位居世界第二，世界经济增长贡献率超过30%，对外贸易、投资、外汇储备等均居于世界前列。经济体质协调发展并不断健全，基础设施建设不断推进，经济竞争和创新能力不断增强。

近年来国内经济环境正逐渐进入一个新的经济周期，现正逐步走出经济低谷。此期间国内经济运行均保持在合理的区间范围，结构调整取得积极进展，经济结构转型进一步加快。目前，国内GDP不再保持高速增长，经济发展已进入新常态，调结构已成为当前发展所必需。国内人均收入稳步提高，居民消费价格涨幅控制在较低指标，就业形势总体基本稳定。自08年金融危机以来，全球多年处于“低利率、低增长、低通胀”的态势，经济发展趋于缓慢。但自2017年全球主要经济出现同步增长态势，2019年全球经济仍保持良好发展态势，2020年新冠病毒对全球经济造成了一定的影响，但中国由于采取了良好的应对措施，虽然仍受到了一定的影响，但总体上来说对经济影响不重大。2024年全年国内生产总值1349084亿元，按不变价格计算，比上年增长5.0%，显示出我国整体经济的强大发展韧性。

资料来源：国家统计局，观研天下数据中心整理

从半导体产业来看，2024年，全球半导体产业整体显现复苏迹象，产业链回暖趋势基本确立。由于半导体产业所涉及的应用领域广泛，各细分市场在同一时期的发展情况存在一定的分化。其中，在全球的先导产业领域，对智能化和高速运算性能的卓越追求持续推动相关应用领域的头部企业快速成长，引导相关产业呈现爆发式增长，已然成为半导体整体市场规模增量的主要驱动力；受益于新一轮智能终端产品的功能升级和性能提升，市场温和催化智能手机、个人电脑、穿戴类设备、消费电子等产品的换机潮，终端需求已呈现缓慢增长态势；在汽车电子领域，伴随电动汽车市场竞争日益激烈，车用芯片的库存消化逐渐出现减缓，该领域的半导体需求进入周期性调整阶段。

在半导体设备方面，全球半导体设备销售额增速高于同期行业增速，且行业产值向中国大陆转移趋势明显。根据国际半导体产业协会（SEMI）数据，2024年全球半导体设备销售额为1,171.4亿美元，同比增长10.25%，2015-2024年全球半导体设备销售额复合增长率为13.82%，高于同期半导体整体销售额复合增速（同期半导体整体销售额复合增速约为7.00%）。分地区来看，中国大陆2024年半导体设备销售额为495.4亿美元，同比增长35.37%，占全球比重从2015年的13.42%提升至42.29%。近年来，受益于内资晶圆厂建厂潮兴起以及多品类半导体设备国产替代的旺盛需求，中国大陆半导体设备销售额增速远高于全球平均水平，行业产值转移趋势明显。

数据来源：国际半导体产业协会（SEMI），观研天下数据中心整理

2、中国半导体流量计行业市场规模

中国半导体流量计行业正处于快速发展的关键时期，在全球半导体产业格局中扮演着愈发重要的角色。随着中国半导体产业的蓬勃发展，对半导体流量计这一关键零部件的需求也在持续攀升，推动着行业规模不断扩大。

从市场规模来看，中国已成为全球半导体流量计的最大单一市场。2024年，中国占据了全球52.48%的份额，市场规模为11.90亿元。这一增长态势得益于中国半导体产业的持续扩张，尤其是在芯片制造、封装测试等环节对高精度流量计的大量需求。国内半导体制造企业不断加大产能投资，新建和扩建晶圆厂，如中芯国际、长江存储等企业的扩产计划，直接带动了对半导体流量计的采购需求。据相关机构预测，未来几年中国半导体流量计市场规模将保持较高的增长率，年复合增长率有望超过全球平均水平。

数据来源：观研天下数据中心整理（wys）