下游市场需求持续释放、政策助力 我国半导体射频电源行业规模不断扩大

1、半导体射频电源概述

射频电源可以产生300KHz-300MHz频率的高频交流电源，虽然射频的频段很宽，但半导体设备用的射频电源工作频率一般处于2MHz至60MHz之间。根据采用的功率放大器类型不同，射频电源可分为电子管射频电源与晶体管射频电源（又称为全固态射频电源）。

电子管射频电源与晶体管射频电源对比

资料来源：观研天下整理

射频电源应用于PECVD、HDPCVD、PEALD、干法刻蚀、去胶、PVD、干法清洗等设备中，起到激发等离子体、选择刻蚀方向等作用。LED与太阳能光伏行业、科学研究、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等领域也有应用。射频电源在半导体领域的应用主要是干法清洗、离子注入。

半导体射频电源应用情况

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2、半导体射频电源产业发展瓶颈分析

根据观研报告网发布的《中国半导体射频电源行业发展趋势分析与未来前景研究报告（2024-2031年）》显示，目前，我国先进等离子体设备中应用的射频电源，其主要技术性能（如输出功率、频率，阻抗匹配网络等）已和国外同类电源无甚差别，但在自动化水平、体积以及应用方面仍然有差距。

半导体射频电源产业发展瓶颈

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3、半导体行业高景气有助于拉动半导体射频电源需求增长

经过多年发展，我国集成电路产业已初步形成设计、芯片制造和封测三业并举发展格局，产业链基本形成。根据数据显示，2022年，我国集成电路产业市场规模达到12036亿元，同比增长15.09%。射频电源作为半导体设备的核心零部件之一，伴随半导体CVD、刻蚀机等核心设备的市场空间同步成长。

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4、下游需求释放、政策助力，我国半导体射频电源行业规模不断扩大

为鼓励半导体产业发展，突破产业瓶颈，我国出台等多项政策支持半导体行业发展，为半导体射频电源行业发展提供良好的发展环境。在国家政策的引导下，本土半导体射频电源厂商不断提升半导体产品技术水平和研发能力，逐渐打破国外半导体厂商的垄断格局，促进中国半导体射频电源行业发展。根据数据显示，2022年全球半导体射频电源市场销售额达到了7.26亿美元，预计2026年将达到1038.45亿美元；2022年，中国半导体射频电源市场规模为0.97亿美元，约占全球的13.31%，预计2023年将达到1.10亿美元，约占全球的14.23%。

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数据来源：观研天下整理（WYD）