一、概述
三氟化氮在常温下是一种无色、无味、性质相对稳定的气体，是微电子工业中的一种优良等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨等化合物，具有优异的蚀刻速率和选择性（对氧化硅和硅）。它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，对生产设备腔体的清洗起着良好的作用，在IC（集成电路）行业、LCD（面板显示）行业等合计应用占比约为70%。
数据来源：观研天下整理
二、市场分析
1、供需规模分析
根据观研报告网发布的《中国三氟化氮（NF3）市场现状深度研究与未来前景调研报告（2022-2029年）》显示，2015-2021年，随着下游集成电路、显示面板等产业快速发展，对三氟化氮行业需求持续上升，产量也随之增长。根据数据显示，2021年我国三氟化氮行业产量达到13318.1吨，2015-2021年CAGR为30.6%，需求量为14340.5吨，2015-2021年CAGR为26%。
数据来源：观研天下整理
（1）集成电路市场
集成电路已成为衡量一个国家产业竞争力和综合国力的重要标志之一。近年来，在有利的政策环境及5G、智能网联汽车、人工智能等巨大的新兴应用需求驱动下，我国集成电路行业发展迅速，并且已成为全球集成电路市场增长的主要驱动力，生产规模及销售额持续扩大，对三氟化氮行业需求保持上升趋势。
根据数据显示，2021年我国集成电路行业产量达3594.3亿块，同比增长33.3%，截至2022年1-10月累计产量达到2674.9亿块，同比下降12.3%，其主要原因是欧美对中国贸易进行限制及疫情影响；2021年国内集成电路产业销售额为10458.3亿元，同比增长18.2%，预计2022年销售额将达11386亿元。
数据来源：国家统计局
数据来源：观研天下整理
（2）LCD（面板显示）领域
近年来，我国显示面板产业快速发展，产业规模位居全球第一，营收规模也屡创新高，这也将对三氟化氮行业需求量不断上升。根据中国光学光电子行业协会数据显示，2021年，我国显示行业产值约5868亿元，较10年前增长近8倍；显示面板出货面积约1.6亿平方米，较10年前增长7倍以上；产业规模与显示面板出货面积在全球市场的占比分别提升到36.9%和63.3%，成为全球第一。同时，国内部分LCD（液晶显示器）生产厂商已突破技术壁垒，并且在技术、产品、市场份额等方面形成领先竞争力，全球市占率超过70%；部分OLED（有机发光二极管）生产厂商已掌握核心技术，生产规模快速扩大，尤其是中小型OLED在全球市场市占率超过30%。
2、进出口规模分析
2017-2021年，我国三氟化氮行业进口量呈“V”字变动，出口规模增长稳定。根据数据显示，2021年我国三氟化氮行业进口量为1022.45吨，出口量1998.99吨；截至2022年1-8月国内三氟化氮完成进口量118.34吨，出口量达2234.14吨。
数据来源：观研天下整理（WYD）
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