石英掩模版,也称为光罩或光掩膜,是微电子制造过程中的图形转移工具。它们是承载图形设计和工艺技术的载体,通过光刻制版工艺,将微米级和纳米级的精细图案刻制于掩模版基板上。
1、2026年我国石英掩模版行业相关企业产能布局
2026年我国石英掩模版行业重点企业加快产能布局,向高端制程与规模化方向推进。其中,清溢光电佛山高端半导体掩膜基地计划2026年试生产,总投资35亿元,目标年底实现PSM石英掩模版量产,同步建设显示与高端半导体产线。路维光电多点布局:路芯半导体一期推进130-40nm产能爬坡,90nm及以上成套版及40nm/28nm单片版已供货,40nm成套版仍在验证;二期(28-14nm)计划2026年启动投建;厦门高世代掩膜基地总投资20亿元、规划11条产线,一期5条线年产能约1813片,预计2026年下半年产生收入,总产能规划达6000片/年。
2026年我国石英掩模版行业相关企业产能布局
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企业简称 |
项目 |
投产进度 |
量产目标 |
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清溢光电 |
佛山清溢微高端半导体掩膜基地 |
2026年试生产;计划2026年底实现PSM石英掩模版量产,总投资35亿元 |
同步建设显示掩膜、高端半导体石英掩膜产线 |
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路维光电 |
路芯半导体一期 |
130-40nm掩膜产能爬坡 |
90nm及以上成套版已供货,40nm/28nm单片版已供货,40nm成套版仍在送样验证中 |
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路芯二期 |
(28-14nm)2026年启动投建 |
2026年内陆续投建 |
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厦门高世代掩膜基地 |
厦门基地设备进场、安装调试、试生产(总投资20亿元,11条产线) |
一期5条线、年产能约1813片,预计2026年下半年产生收入;规划总产能6000片/年,后续6条线视一期情况推进。 |
资料来源:公开资料、观研天下整理
2、我国石英掩模版行业重点上市企业基本情况及业务情况
我国石英掩模版行业重点上市企业有清溢光电、路维光电、龙图光罩等。其中,清溢光电为国内最早、规模最大的掩模版企业之一,实施“平板显示+半导体芯片”双翼战略,布局深圳、合肥、佛山;路维光电以“以屏带芯”为战略,定位高世代高精度平板显示与先进封装掩模版龙头,半导体制程布局国内领先(14nm),基地覆盖深圳、成都、苏州、厦门;龙图光罩为国内稀缺的独立第三方半导体掩模版厂商,聚焦功率半导体、MEMS、IC封装等特色工艺,深圳与珠海双基地协同。三家企业均以石英掩模版为核心产品,但业务定位各有侧重。
2025年我国石英掩模版行业重点上市企业营收情况
| 企业简称 | 上市年份 | 注册地区 | 业务情况 |
| 清溢光电 | 2019年 | 广东省深圳市南山区 | 主要从事掩膜版的研发、设计、生产和销售,是国内成立最早、规模最大的掩模版生产企业之一:以平板显示和半导体芯片掩模版为主营业务。产品按基板材质分为石英掩膜版、苏打掩膜版和其他(含凸版、菲林),主要应用于平板显示、半导体芯片、触控、电路板等行业。实施“平板显示掩膜版+半导体芯片掩膜版”双翼战略,产业基地布局深圳、合肥、佛山(在建/试产)。 |
| 路维光电 | 2022年 | 广东省深圳市前海深港合作区 | 国内领先的专业第三方掩模版厂商,战略“以屏带芯”,为显示厂商、晶圆厂、IC设计公司、封测厂提供掩模版及后续服务。按基板材料分石英/苏打/其他,按下游分平板显示/半导体/触控/电路板掩模版:2025年定位为国内高世代高精度平板显示掩模版和先进封装掩模版龙头,半导体制程布局国内领先(14nm)。基地布局深圳(总部)、成都、苏州、厦门(在建)。 |
| 龙图光罩 | 2024年 | 广东省深圳市宝安区 | 主营半导体掩模版的研发、生产和销售,是国内稀缺的独立第三方半导体掩模版厂商。产品按基板材质分石英掩模版与苏打掩模版两类,无平板显示掩模版;聚焦功率半导体、MEMS传感器、IC封装、模拟IC等特色工艺半导体。深圳工厂(130nm及以上)+珠海工厂(高端制程90nm/65nm,2025年二季度投产)双基地协同。 |
资料来源:公开资料、观研天下整理
3、2025年我国石英掩模版行业重点上市企业营收情况
2025年我国石英掩模版行业重点上市企业营收表现稳健但分化明显。其中,清溢光电与路维光电收入均超10亿元,分别为11.52亿元和10.58亿元,同比增长13.42%和30.95%,业务占比均超91%;龙图光罩收入2.05亿元,同比仅增2.38%,但毛利率达44.18%,居三家之首。
2025年我国石英掩模版行业重点上市企业营收情况
| 企业简称 | 石英掩模版收入(亿元) | 同比 | 占总营收比重 | 石英掩模版毛利率 |
| 清溢光电 | 11.52 | 13.42% | 92.95% | 30.25% |
| 路维光电 | 10.58 | 30.95% | 91.58% | 33.62% |
| 龙图光罩 | 2.05% | 2.38% | 83.19% | 44.18% |
资料来源:公开资料、观研天下整理
4、2023-2025年我国石英掩模版行业重点上市产销量情况
2023至2025年,我国石英掩模版三家重点上市企业产销量持续增长,产销衔接良好。其中,清溢光电产量由3801.26平方米增至4958.8平方米,销量由3820.21平方米增至4957.36平方米;路维光电产量由2672.98平方米增至4218.78平方米,销量由2678.43平方米增至4173.51平方米,增速最快;龙图光罩产量由34229片增至46754片,销量由34168片增至46758片。三家企业销量与产量高度接近,基本满产满销,行业景气度持续向好。
2023-2025年我国石英掩模版行业重点上市产销量情况
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企业简称 |
指标 |
2023年 |
2024年 |
2025年 |
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清溢光电 |
产量(平方米) |
3801.26 |
4350.15 |
4958.8 |
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销量(平方米) |
3820.21 |
4323.98 |
4957.36 |
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路维光电 |
产量(平方米) |
2672.98 |
3408.55 |
4218.78 |
|
销量(平方米) |
2678.43 |
3412.59 |
4173.51 |
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龙图光罩 |
产量(片) |
34229 |
40891 |
46754 |
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销量(片) |
34168 |
41009 |
46758 |
资料来源:公开资料、观研天下整理(xyl)
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