薄膜沉积设备通常用于在基底上沉积导体、绝缘体或者半导体等材料膜层,使之具备一定的特殊性能,广泛应用于光伏、半导体等领域的生产制造环节。
从产业链来看,薄膜沉积设备上游主要为机械类、电气类、机电一体类、仪器仪表类、气体输送系统、真空系统等;中游为薄膜沉积设备的生产;下游主要应用于半导体领域。
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薄膜沉积设备是晶圆制造设备中的一种。数据显示,到2023年全球晶圆制造设备中薄膜沉积设备市场份额占比达到了22%。
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从全球薄膜沉积设备市场规模来看,2021年到2023年全球薄膜沉积设备市场规模持续增长,到2023年全球薄膜沉积设备市场规模约为211亿美元,预计到2025年全球薄膜沉积设备市场规模约为248.1亿美元。
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从薄膜沉积设备市场结构来看,在2024年全球薄膜沉积设备中市场份额占比最高的为PECVD,占比为33%;其次为溅射PVD,市场份额占比为19%;第三为管式CVD,市场份额占比为12%。
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从我国薄膜沉积设备市场规模来看,到2023年我国薄膜沉积设备市场规模约为72.7亿美元;预计到2025年我国薄膜沉积设备市场规模约为84.4亿美元。
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