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2016-2022E全球半导体设备市场规模及预测情况

半导体设备市场持续增长的底层逻辑是科技产业发展对半导体需求量的提升,直接驱动因素是下游晶圆制造厂商的扩产。根据数据显示,2021 年半导体市场规模实现同比增长 26%,达 5530 亿美元。全球半导体产业资本支出保持强劲增长,

半导体设备市场持续增长的底层逻辑是科技产业发展对半导体需求量的提升,直接驱动因素是下游晶圆制造厂商的扩产。根据数据显示,2021 年半导体市场规模实现同比增长 26%,达 5530 亿美元。全球半导体产业资本支出保持强劲增长,

数据来源:WSTS、观研天下整理

2021全球半导体设备市场规模及国内主要企业(市场规模为全球口径)

文件名称 市场规模 国内主要公司 国产化率
薄膜沉积设备 190亿美元 北方华创、拓荆科技 6%
刻蚀设备 194亿美元 北方华创、中微公司 20%左右
光刻机 181亿美元 上海微电子 零的突破
检测设备 100亿美元 上海精测、中科飞测 2%
清洗设备 42亿美元 盛美上海、芯源微、北方华创、至纯科技 >20%
涂胶显影设备 34亿美元 芯源微 2%
CMP设备 24亿美元 华海清科 18%
热处理设备 20亿美元 屹唐半导体、北方华创 20%左右
离子注入设备 22亿美元 凯世通、中科信 2%
去胶设备 7亿美元 屹唐半导体 >90%

数据来源:观研天下整理

刻蚀设备占据半导体设备超 20%的市场,2021 年全球刻蚀设备市场规模为 194 亿美元,预计 2022 年将达到 216亿美元。

刻蚀设备占据半导体设备超 20%的市场,2021 年全球刻蚀设备市场规模为 194 亿美元,预计 2022 年将达到 216亿美元。

数据来源:观研天下整理

薄膜沉积设备在半导体设备中占比稳定在 20%左右,2021 年全球半导体薄膜沉积设备市场规模达 190 亿美元,预计 2022 年将达到 212 亿美元。

薄膜沉积设备在半导体设备中占比稳定在 20%左右,2021 年全球半导体薄膜沉积设备市场规模达 190 亿美元,预计 2022 年将达到 212 亿美元。

数据来源:观研天下整理

根据全球半导体设备市场规模估算,2021 年全球光刻机市场规模为 181 亿美元,预计 2022 年将达到 201 亿美元。

根据全球半导体设备市场规模估算,2021 年全球光刻机市场规模为 181 亿美元,预计 2022 年将达到 201 亿美元。

数据来源:观研天下整理

全球半导体检测和量测设备市场保持高速增长态势, 2021 年全球市场规模达 100 亿美元,预计 2022 年将达到 112 亿美元。前道检测设备领域中,KLA 具有绝对优势,占 52%的市场份额;另外,AMAT、Hitachi 分别占 12%、11%的市场份额。

全球半导体检测和量测设备市场保持高速增长态势, 2021 年全球市场规模达 100 亿美元,预计 2022 年将达到 112 亿美元。前道检测设备领域中,KLA 具有绝对优势,占 52%的市场份额;另外,AMAT、Hitachi 分别占 12%、11%的市场份额。

数据来源:观研天下整理

数据来源:观研天下整理

数据来源:观研天下整理

半导体清洗设备约为半导体设备总规模的 5%,2021 年起半导体清洗设备市场增长迅速,市场规模达到 42 亿美元,预计 2022 年将达到 47 亿美元。

半导体清洗设备约为半导体设备总规模的 5%,2021 年起半导体清洗设备市场增长迅速,市场规模达到 42 亿美元,预计 2022 年将达到 47 亿美元。

数据来源:观研天下整理

涂胶显影设备约为半导体设备总规模 4%,2021 年全球涂胶显影设备行业市场规模为 34 亿美元。

涂胶显影设备约为半导体设备总规模 4%,2021 年全球涂胶显影设备行业市场规模为 34 亿美元。

数据来源:观研天下整理

CMP 设备市场被应用材料、荏原机械高度垄断。CMP 设备约为半导体设备总规模 3%,2021 年全球 CMP 设备市场估计为 24 亿美元。目前全球 CMP 设备市场处于高度集中状态,主要由美国应用材料和日本荏原两家设备制造商占据,合计拥有超过 90%的市场份额。

CMP 设备市场被应用材料、荏原机械高度垄断。CMP 设备约为半导体设备总规模 3%,2021 年全球 CMP 设备市场估计为 24 亿美元。目前全球 CMP 设备市场处于高度集中状态,主要由美国应用材料和日本荏原两家设备制造商占据,合计拥有超过 90%的市场份额。

数据来源:观研天下整理

数据来源:观研天下整理

数据来源:观研天下整理

半导体热处理设备约为半导体设备总规模 2%,2021 年全球热处理设备市场规模 20 亿美元。

半导体热处理设备约为半导体设备总规模 2%,2021 年全球热处理设备市场规模 20 亿美元。

数据来源:观研天下整理

全球离子注入机市场呈现增长态势, 2019 年全球离子注入机市场规模达 11 亿美元,2021 年市场规模超过 22 亿美元。。应用材料几乎垄断了全球离子注入机市场,占据了 70%的市场份额,其次为 Axcelis,占 20%。

全球离子注入机市场呈现增长态势, 2019 年全球离子注入机市场规模达 11 亿美元,2021 年市场规模超过 22 亿美元。。应用材料几乎垄断了全球离子注入机市场,占据了 70%的市场份额,其次为 Axcelis,占 20%。

数据来源:观研天下整理

数据来源:观研天下整理

数据来源:观研天下整理

随着先进芯片制造工艺的发展,干法去胶设备的技术不断提高,逐渐成为先进光刻中关键步骤,市场规模也在逐渐扩大,2021 年,全球干法去胶设备市场规模超过 7 亿美元。

随着先进芯片制造工艺的发展,干法去胶设备的技术不断提高,逐渐成为先进光刻中关键步骤,市场规模也在逐渐扩大,2021 年,全球干法去胶设备市场规模超过 7 亿美元。

数据来源:观研天下整理(YA)

相关行业分析报告参考《中国半导体设备行业现状深度研究与发展前景分析报告(2022-2029年)

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2025年1-8月我国大气污染防治设备产量约为212471台 其中江苏及河南以超四万台产量排名前二

2025年1-8月我国大气污染防治设备产量约为212471台 其中江苏及河南以超四万台产量排名前二

数据显示,2025年8月份我国大气污染防治设备产量约为28067台(套),同比下降4.1%;1-8月我国大气污染防治设备产量约为212471台(套),同比下降18.6%。整体来看,近四年8月同期我国大气污染防治设备产量当期值和累计值均呈先升后降走势。

2025年10月09日
2025年8月我国轿车产量同比增长11.6% 1-8月累计产量同比增长10.2%

2025年8月我国轿车产量同比增长11.6% 1-8月累计产量同比增长10.2%

2025年1-8月我国基本型乘用车(轿车)产量约为791.7万辆,同比增长10.2%。整体来看,近四年1-8月同期我国基本型乘用车(轿车)产量呈先降后升走势。

2025年10月05日
2025年8月我国工业机器人产量同比增长14.4% 1-8月累计产量同比增长29.9%

2025年8月我国工业机器人产量同比增长14.4% 1-8月累计产量同比增长29.9%

2025年1-8月我国工业机器人产量约为512129套,同比增长29.9%。整体来看,近四年1-8月同期我国工业机器人产量呈增长走势。

2025年10月05日
2025年8月我国服务机器人产量同比下降6.5% 1-8月累计产量同比增长18.9%

2025年8月我国服务机器人产量同比下降6.5% 1-8月累计产量同比增长18.9%

2025年1-8月我国服务机器人产量约为11856113套,同比增长18.9%。整体来看,近四年1-8月同期我国服务机器人产量呈增长走势。

2025年10月05日
2025年1-7月我国内燃机进口额同比下降2.21% 出口额同比增长14.33%

2025年1-7月我国内燃机进口额同比下降2.21% 出口额同比增长14.33%

2025年1-7月,我国内燃机进出口总额221.6亿美元,同比增长9.47%。整体来看,近三年同期我国内燃机进出口总额呈增长走势。

2025年09月26日
2025年7月我国工业机器人产量同比增长24% 1-7月累计产量同比增长32.9%

2025年7月我国工业机器人产量同比增长24% 1-7月累计产量同比增长32.9%

累计值来看,2025年1-7月我国工业机器人产量约为447121套,同比增长32.9%。整体来看,近三年1-7月同期我国工业机器人产量呈增长走势。

2025年09月18日
2025年1-7月我国汽油机销量同比增长13.45% 其中小汽油机销量同比增长14.61%

2025年1-7月我国汽油机销量同比增长13.45% 其中小汽油机销量同比增长14.61%

数据显示,2025年7月,汽油内燃机销量398.16万台,同比增长14.96%;1-7月汽油内燃机销量2656.90万台,同比增长13.45%。整体来看,近三年同期我国汽油内燃机销量当期值、累计值均呈增长走势。

2025年09月17日
2025年1-7月我国内燃机销量同比增长12.5% 其中摩托车用累计销售1142.33万台 占比38.5%

2025年1-7月我国内燃机销量同比增长12.5% 其中摩托车用累计销售1142.33万台 占比38.5%

数据显示,近三年同期我国内燃机销量当期值、累计值均呈增长趋势。2025年7月,内燃机销量435.39万台,环比增长4.14%,同比增长14.28%;1-7月累计销量2964.17万台,同比增长12.50%。

2025年09月17日
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