政策支持下我国靶材行业国产化加速发展市场规模稳步增长

2025-01-10 09:35

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靶材，也称为溅射靶材，是高速荷能粒子轰击的目标材料。通过不同的激光（离子光束）和不同的靶材相互作用得到不同的膜系，实现导电和阻挡的功能。

从发展历程来看，在国家相关政策的支持下，中国靶材行业得到了快速发展，并且国产化速度也在加快。在20世纪80年代初，我国开始引入溅射镀膜技术，应用于相关玻璃制品中；20世纪90年代，我国开始研究溅射靶材的国产化技术；在21世纪初，我国溅射靶材产业进入快速发展阶段，行业内优秀企业增多；在2005年，第一块国产半导体工业应用溅射靶材在江丰电子的生产线上诞生，填补了国内溅射靶材工艺的空白；在2020年，我国工程院院士材料学专家何季麟带领团队成功研制出高性能ITO溅射靶材，实现了高端ITO靶材从0到1的突破；在2020年至今，我国溅射靶材产业逐渐成熟，技术水平不断提高，产品品质得到了广泛认可，逐渐成为全球溅射靶材产业的重要力度。

我国靶材行业发展历程

时间	发展历程
20世纪80年代初	中国开始引进溅射镀膜技术，主要用于建筑玻璃和手表玻璃上。
20世纪90年代初	中国开始研究开发本土溅射靶材，并在有色金属冶炼、电子信息、光学、磁性材料等领域得到应用。
21世纪初	中国溅射靶材产业进入快速发展阶段，涌现出一批优秀的企业，如江丰电子、阿右创﹑隆达电子等。
2005年10月	第一块国产半导体工业用溅射靶材在江丰电子的生产线上诞生，填补了国内溅射靶材工艺的空白。
2020年	中国工程院院士材料学专家何季麟带领团队成功研制出高性能ITO溅射靶材，实现了高端ITO靶材从0到1的突破。团队研制超高纯金属靶材项目也获得了国家技术发明二等奖,让中国芯片拥有高端靶材。
2020年至今	中国溅射靶材产业逐渐成熟，技术水平不断提高，产品品质得到了广泛认可，逐渐成为全球溅射靶材产业的重要力度。

资料来源：公开资料、观研天下整理

从市场规模来看，2019-2023年，我国靶材市场规模呈增长走势。2023年我国靶材市场规模为431亿元，同比增长9.1%；2024年我国靶材市场规模预计将达到476亿元。

数据来源：公开资料、观研天下整理

从行业壁垒来看，我国靶材行业拥有技术、客户、资金、人才四大壁垒，具体内容如下图：

资料来源：公开资料、观研天下整理

政策方面，我国为进一步促进靶材行业的发展，陆续发布了一系列相关政策，如2024年工业和信息化部等七部门发布的《关于推动未来产业创新发展的实施意见》提出推动有色金属、化工、无机非金厘等先进基础材料升级,发展高性能碳纤维、先进半导体等关键战略材料，加快超导材料等前沿新材料创新应用。

2023-2024年我国靶材行业相关政策

发布时间	部门	政策名称	主要内容
2024年1月	工业和信息化部等七部门	关于推动未来产业创新发展的实施意见	推动有色金属、化工、无机非金厘等先进基础材料升级,发展高性能碳纤维、先进半导体等关键战略材料，加快超导材料等前沿新材料创新应用。
2023年8月	国务院	河套深港科技创新合作区深圳园区发展规划	聚焦网络与通信、半导体与集成电路等前沿交叉领域，支持深港联合国内外高校、科研院所在深圳园区共建卓越研究中心、前沿交叉研究平台、人工智能应用示范平台、数字经济与金融超级计算集群、“量子谷”，促进粤港澳大湾区科技资源深度融合。
2023年8月	工业和信息化部、财政部	电子信息制造业2023-2024年稳增长行动方案	推动电子材料、电子专用设备和电子则里仪器技术攻关,研究建立电子材料产业创新公共服务平台,发挥好集成电路材料生产应用示范平台、国家新材料测试评价平台电子材料行业中心等公共服务功能。
2023年7月	国家发展改革委等六部门	关于促进退役风电、光伏设备循环利用的指导意见	重点聚焦风机叶片纤维复合材料，以及光伏组件中半导体材料、金属材料、聚合物等，探索兼顾经济性、环保性的再生利用先进技术和商业模式。
2023年1月	工业和信息化部等六部门	关于推动能源电子产业发展的指导意见	加快功率半导体器件等面向光伏发电、风力发电、电力传输、新能源汽车、轨道交通推广。