前言：
晶圆尺寸的发展推动AMHS系统持续迭代，AMHS由早期机械搬运向智能一体化转型。随着全球产业竞争热化与先进制程工艺愈趋复杂，AMHS行业展现出强劲增长势头。中国大陆在半导体产业的崛起以及工业智能化的持续推进下，AMHS市场也高速扩张，规模增速已超过全球。
AMHS行业准入门槛高，全球市场长期被日企垄断，其中日本大福和村田机械占据全球90%以上的市场份额。国内AMHS行业起步相对较晚，主要市场也被海外企业占据，国产化率极低，至2023年仅为5%。随着美国 “芯片法案”的推行，AMHS国产替代需求愈发迫切，促使本土优势企业如弥费科技、华芯智能和海晨盟立等加速追赶，未来有望逐步打破日企垄断。
一、AMHS系统持续迭代，由早期机械搬运向智能一体化转型
AMHS(Automatic Material Handling System，自动化物料搬送系统)，一般特指在无尘室环境下，通过软件系统的控制和调度，按照生产系统的指令，实现物料在生产线工序间的自动搬运、缓冲存放的系统。
在早期兴建的6寸晶圆厂中，由于wafer本身重量不大，因此对于wafer的自动搬送需求尚不迫切。1990 年，随着8寸晶圆厂兴建，自动化需求开始增多，AMHS系统提升半导体工厂生产能力的巨大作用凸显，AMHS系统逐渐兴起。2000年以来，12寸厂逐渐成为半导体先进制造的主流发展趋势。对于 12 寸 Fab 来说，单个存满 wafer 的 FOUP 重量已达 8-15 公斤，体积为 8 寸晶圆盒的 2 倍，出于人体工学设计考虑，以及更大在制品物料数据追踪需求，完善可靠的全流程自动化搬运系统成为必然。AMHS系统开始广泛应用于半导体硅片厂、芯片制造厂、芯片封装厂，渐成12寸晶圆厂标配。2015 年，300mm 晶圆厂的出现推动AMHS系统持续迭代，2020 年后，第四代系统加入动态决策等功能，从早期的机械搬运向智能一体化转型。
AMHS系统发展历程
| 发展阶段 | 时间 | 发展情况 |
| 前身阶段 | 1990-2000 年 | AMHS 前身天车方案替代 AGV 方案。1990 年代，8 英寸晶圆成为主流，天车方案替代 AGV 方案，为 AMHS 前身。随晶圆尺寸增大，物料运输和追溯管理成为影响工厂生产效率的明确要素。同时，随着传输需求的增加，自动化的需求开始凸显。到 90 年代后期，天车的出现让晶圆厂开始转向天车 interbay+Stocker 的方案搬送物料。 |
| 替代阶段 | 2000-2015 年 | AMHS 渐渐成为晶圆厂的必需设备。2000 年后，12 寸厂逐渐成为半导体先进制造的主流发展趋势，AMHS 渐渐成为晶圆厂的必需设备。过去在 8 寸厂中，人工搬送尚可以弥补物料传送环节的不流畅，但对于 12 寸 Fab 来说，单个存满 wafer 的 FOUP 重量已达 8-15 公斤，体积为 8 寸晶圆盒的 2 倍，出于人体工学设计考虑，以及更大在制品物料数据追踪需求，完善可靠的全流程自动化搬运系统成为必然。人工搬运已经无法满足生产需求，同时为了提高生产效率，AMHS 自动物料搬运系统应运而生。AMHS 具备减少晶圆的闲置时间，提高无尘室空间利用率，提高产品良率，减少人员误操作，降低人力成本等诸多优势，广泛应用于半导体硅片厂、芯片制造厂、芯片封装厂。 |
| 完善阶段 | 2015-2020 年 | 逐步实现 OHT 天车精确调度。2015 年后，300mm 晶圆厂的出现，AMHS 不断迭代。AMHS 先后经历了第一代的单元空中搬送系统、第二代的 EQtoEQ 的部分跨区域直接搬送、第三代全厂性的EQtoEQAMHS 系统。早期 12 寸厂沿用了 baytobay 设计，由大环线（interbay）连接 Stocker 进行中转。但这对于 Stocker 的稳定性和中转能力依赖性非常高，为减少 Stocker 故障可能产生的影响，AMHS 后来的设计开始转向分布式存储和点对点搬送，即 toolstotools，OHT 天车可以通过轨道去往晶圆厂的任何地方，实现精确调度。 |
| 智能阶段 | 2020 年至今 | AMHS 向智能一体化转型。2020 年后，第四代系统加入动态决策等功能，从早期的机械搬运向智能一体化转型。第四代 AMHS系统是采用空中多岔道且无需等待的自动物料传送系统，传送晶圆盒的速度非常快（≥3 米/秒），它能够曲线移动或者爬坡，无需增加转接单元，摆动小，有效控制颗粒物的产生。AMHS 系统的动态决策功能使 AMHS 系统从早期通过快速机械运动缩短生产周期的设计理念过渡到智能控制空中搬送车位置、合理派工的新概念，充分发挥生产辅助的作用，给晶圆厂带来更多的附加值。 |
资料来源：观研天下整理
各阶段 AMHS 系统对比
| 代别 | 功能 | 组成部分 | 解决的问题 | 解决的问题 | 带来的优势 |
| 第一代 | 基本的Bay-to-Bay自动化搬运 | 传送带,轨道导引车(RGV) | 只能在不同车间(Bay)之间搬运,依赖人工调度 | 只能在不同车间(Bay)之间搬运,依赖人工调度 | 减少人工搬运错误提高了物料搬运的基础自动化 |
| 第二代 | Interbay(跨车间)搬运 | Stocker仓储系统,RGV,自动化控制系统 | 提升跨区域搬运效率,物料调度受限 | 提升跨区域搬运效率，物料调度受限 | 跨车间物料搬运能力提升,支持大批量生产的物流需求 |
| 第三代 | Tool-to-Tool点对点搬运 | OHT(OverheadHoistTransport),精确调度算法 | 中间仓储步骤过多,搬运路径优化不足 | 中间仓储步骤过多,搬运路径优化不足 | 实现生产设备间的直接搬运,减少等待时间,提高产能利用率 |
| 第四代 | 全自动化智能调度 | SLAM技术,物联网(loT),MES系统集成 | 搬运路径动态调整不足,手动干预较多 | 搬运路径动态调整不足,手动干预较多 | 动态调度和实时优化,提升灵活性,实现真正的智能生产工厂 |
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二、全球AMHS行业展现出强劲增长势头，中国市场扩张速度快
AMHS具备减少物料的闲置时间，提高无尘室车间的利用率，提高产品良率，减少人员误操作，降低人力成本等诸多优势，广泛应用于半导体硅片厂、半导体晶圆制造厂、半导体封装测试厂、显示面板厂以及新能源电池工厂等领域。
随着全球产业竞争热化与先进制程工艺愈趋复杂，如何降低生产成本、缩短生产时间成为各大半导体与面板厂的首要课题。自动化物料搬送系统(AMHS)的规划可直接影响全厂产出量以及生产周期，规划涵盖从投入、生产到出货的各环节，并锁定面板、半导体封测、晶圆制造、ABF 载板、DRAM 和硅晶圆等产业，AMHS在半导体生产中的重要性不断凸显。
近年来，全球AMHS行业展现出强劲增长势头。根据数据，2015—2022年全球AMHS市场规模由6.7亿美元增长至30.6亿美元，CAGR为24%。2022年,受新冠肺炎疫情、全球消费疲软等因素影响，全球半导体晶圆厂建设进度放缓，而AMHS市场规模仍逆势增长至30.6亿美元，同比增长12%。随着半导体晶圆厂扩产，预计2025年全球AMHS市场规模达39.2 亿美元。
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随着中国半导体产业的崛起以及工业智能化的持续推进，中国大陆AMHS整体实现高速增长，2015-2022年AMHS市场规模由5.1亿元增长至47.6亿元，CAGR达38%,远超全球。受大尺寸晶圆制造产能扩充、相关标准完善、本土晶圆厂验证测试逐渐开放等因素利好，预计2025年中国大陆 AMHS市场规模将达81.5 亿元。
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三、AMHS行业准入门槛高，全球市场长期被日企垄断
作为多学科交叉领域，AMHS 系统的开发和制造需要对精密机械设计、高级软件算法、实时控制系统以及先进的导航与定位技术有深入理解和独特创新能力，具有高技术壁垒，主要体现在硬件、软件、获客和专利方面。
AMHS行业壁垒
| 壁垒 | 简介 |
| 硬件壁垒 | 硬件是 AMHS 的基础，单个OHT 天车的硬件就包含了 2000 个零部件，其中包括数十个不同类型的传感器。天车的机械结构复杂，需要在材料和零部件选型、结构设计、轨道设计等方面都具备高要求，以满足在高速行驶过程中的高稳定性和可靠性。 |
| 软件壁垒 | 随着天车辆数量增加，控制难度也会增加，需要考虑在不同场景下（如天车交汇、分配等）的解决方案。要求团队具备底层软件能力和对场景需求有充分的了解。 |
| 获客门槛 | 由于 AMHS 的性能对于晶圆厂稼动率和良率至关重要，因此晶圆厂均谨慎选择 AMHS 系统供应商，供应商需具备成熟的应用案例和长期服务经验，而新进入者难以快速获得客户信任。 |
| 专利壁垒 | AMHS 设备领域，日韩厂商因为起步较早，占据了先机，拥有较多专利积累，新进入市场的国内厂商需绕开现有专利或通过授权合作实现突破。 |
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AMHS行业准入门槛高，全球市场长期被日企垄断，其中日本大福（Daifuku）和日本村田机械（MurataMachinery）两家头部企业凭借先发优势积累的技术能力、品牌信誉和稳定的客户关系，占据全球90%以上的市场份额。
数据来源：观研天下数据中心整理
四、AMHS国产替代需求迫切，本土优势企业正加速追赶
国内AMHS行业起步相对较晚，主要市场也被海外企业占据，国产化率极低，至2023年仅为5%。
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随着美国 “芯片法案”的推行，AMHS国产替代需求愈发迫切，促使本土优势企业如弥费科技、华芯智能和海晨盟立等加速追赶，未来有望逐步打破日企垄断。
我国AMHS优势企业布局情况
| 企业名称 | 布局情况 |
| 弥费科技 | 弥费科技是中国领先的半导体 AMHS 系统及核心零部件供应商，掌握AMHS 核心技术自主知识产权，为中国第一家在 8 吋和 12 吋晶圆厂完成系统级验收的整厂供应商。 |
| 华芯智能 | 华芯智能自 2016 年起专注于半导体 AMHS 的迭代研发，为国内 AMHS领域的先行者。华芯当前已形成完善的 AMHS 的产品体系，实现从硬件到软件的全覆盖。天车产品已迭代至第四代，并围绕泛半导体工厂自动化解决方案，构建了完善的软硬件产品矩阵及高效可靠的交付体系。 |
| 海晨股份 | 2024 年海晨股份新增的半导体物流装备及自动化业务异军突起，2024 年实现营收 1.4 亿元。主要受益于电子板块销售额上升、库存稳定和晶圆厂产能增加所带动的全球半导体制造业改善。 |
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行业报告是业内企业、相关投资公司及政府部门准确把握行业发展趋势，洞悉行业竞争格局，规避经营和投资风险，制定正确竞争和投资战略决策的重要决策依据之一。
本报告是全面了解行业以及对本行业进行投资不可或缺的重要工具。观研天下是国内知名的行业信息咨询机构，拥有资深的专家团队，多年来已经为上万家企业单位、咨询机构、金融机构、行业协会、个人投资者等提供了专业的行业分析报告，客户涵盖了华为、中国石油、中国电信、中国建筑、惠普、迪士尼等国内外行业领先企业，并得到了客户的广泛认可。
目录大纲：
【第一部分 行业定义与监管 】
第一章 2020-2024年中国AMHS行业发展概述
第一节 AMHS行业发展情况概述
一、AMHS行业相关定义
二、AMHS特点分析
三、AMHS行业基本情况介绍
四、AMHS行业经营模式
（1）生产模式
（2）采购模式
（3）销售/服务模式
五、AMHS行业需求主体分析
第二节 中国AMHS行业生命周期分析
一、AMHS行业生命周期理论概述
二、AMHS行业所属的生命周期分析
第三节 AMHS行业经济指标分析
一、AMHS行业的赢利性分析
二、AMHS行业的经济周期分析
三、AMHS行业附加值的提升空间分析
第二章 中国AMHS行业监管分析
第一节 中国AMHS行业监管制度分析
一、行业主要监管体制
二、行业准入制度
第二节 中国AMHS行业政策法规
一、行业主要政策法规
二、主要行业标准分析
第三节 国内监管与政策对AMHS行业的影响分析
【第二部分 行业环境与全球市场】
第三章 2020-2024年中国AMHS行业发展环境分析
第一节 中国宏观环境与对AMHS行业的影响分析
一、中国宏观经济环境
二、中国宏观经济环境对AMHS行业的影响分析
第二节 中国社会环境与对AMHS行业的影响分析
第三节 中国对磷矿石易环境与对AMHS行业的影响分析
第四节 中国AMHS行业投资环境分析
第五节 中国AMHS行业技术环境分析
第六节 中国AMHS行业进入壁垒分析
一、AMHS行业资金壁垒分析
二、AMHS行业技术壁垒分析
三、AMHS行业人才壁垒分析
四、AMHS行业品牌壁垒分析
五、AMHS行业其他壁垒分析
第七节 中国AMHS行业风险分析
一、AMHS行业宏观环境风险
二、AMHS行业技术风险
三、AMHS行业竞争风险
四、AMHS行业其他风险
第四章 2020-2024年全球AMHS行业发展现状分析
第一节 全球AMHS行业发展历程回顾
第二节 全球AMHS行业市场规模与区域分AMHS情况
第三节 亚洲AMHS行业地区市场分析
一、亚洲AMHS行业市场现状分析
二、亚洲AMHS行业市场规模与市场需求分析
三、亚洲AMHS行业市场前景分析
第四节 北美AMHS行业地区市场分析
一、北美AMHS行业市场现状分析
二、北美AMHS行业市场规模与市场需求分析
三、北美AMHS行业市场前景分析
第五节 欧洲AMHS行业地区市场分析
一、欧洲AMHS行业市场现状分析
二、欧洲AMHS行业市场规模与市场需求分析
三、欧洲AMHS行业市场前景分析
第六节 2025-2032年全球AMHS行业分AMHS走势预测
第七节 2025-2032年全球AMHS行业市场规模预测
【第三部分 国内现状与企业案例】
第五章 中国AMHS行业运行情况
第一节 中国AMHS行业发展状况情况介绍
一、行业发展历程回顾
二、行业创新情况分析
三、行业发展特点分析
第二节 中国AMHS行业市场规模分析
一、影响中国AMHS行业市场规模的因素
二、中国AMHS行业市场规模
三、中国AMHS行业市场规模解析
第三节 中国AMHS行业供应情况分析
一、中国AMHS行业供应规模
二、中国AMHS行业供应特点
第四节 中国AMHS行业需求情况分析
一、中国AMHS行业需求规模
二、中国AMHS行业需求特点
第五节 中国AMHS行业供需平衡分析
第六节 中国AMHS行业存在的问题与解决策略分析
第六章 中国AMHS行业产业链及细分市场分析
第一节 中国AMHS行业产业链综述
一、产业链模型原理介绍
二、产业链运行机制
三、AMHS行业产业链图解
第二节 中国AMHS行业产业链环节分析
一、上游产业发展现状
二、上游产业对AMHS行业的影响分析
三、下游产业发展现状
四、下游产业对AMHS行业的影响分析
第三节 中国AMHS行业细分市场分析
一、细分市场一
二、细分市场二
第七章 2020-2024年中国AMHS行业市场竞争分析
第一节 中国AMHS行业竞争现状分析
一、中国AMHS行业竞争格局分析
二、中国AMHS行业主要品牌分析
第二节 中国AMHS行业集中度分析
一、中国AMHS行业市场集中度影响因素分析
二、中国AMHS行业市场集中度分析
第三节 中国AMHS行业竞争特征分析
一、企业区域分布特征
二、企业规模分布特征
三、企业所有制分布特征
第八章 2020-2024年中国AMHS行业模型分析
第一节 中国AMHS行业竞争结构分析（波特五力模型）
一、波特五力模型原理
二、供应商议价能力
三、购买者议价能力
四、新进入者威胁
五、替代品威胁
六、同业竞争程度
七、波特五力模型分析结论
第二节 中国AMHS行业SWOT分析
一、SWOT模型概述
二、行业优势分析
三、行业劣势
四、行业机会
五、行业威胁
六、中国AMHS行业SWOT分析结论
第三节 中国AMHS行业竞争环境分析（PEST）
一、PEST模型概述
二、政策因素
三、经济因素
四、社会因素
五、技术因素
六、PEST模型分析结论
第九章 2020-2024年中国AMHS行业需求特点与动态分析
第一节 中国AMHS行业市场动态情况
第二节 中国AMHS行业消费市场特点分析
一、需求偏好
二、价格偏好
三、品牌偏好
四、其他偏好
第三节 AMHS行业成本结构分析
第四节 AMHS行业价格影响因素分析
一、供需因素
二、成本因素
三、其他因素
第五节 中国AMHS行业价格现状分析
第六节 2025-2032年中国AMHS行业价格影响因素与走势预测
第十章 中国AMHS行业所属行业运行数据监测
第一节 中国AMHS行业所属行业总体规模分析
一、企业数量结构分析
二、行业资产规模分析
第二节 中国AMHS行业所属行业产销与费用分析
一、流动资产
二、销售收入分析
三、负债分析
四、利润规模分析
五、产值分析
第三节 中国AMHS行业所属行业财务指标分析
一、行业盈利能力分析
二、行业偿债能力分析
三、行业营运能力分析
四、行业发展能力分析
第十一章 2020-2024年中国AMHS行业区域市场现状分析
第一节 中国AMHS行业区域市场规模分析
一、影响AMHS行业区域市场分布的因素
二、中国AMHS行业区域市场分布
第二节 中国华东地区AMHS行业市场分析
一、华东地区概述
二、华东地区经济环境分析
三、华东地区AMHS行业市场分析
（1）华东地区AMHS行业市场规模
（2）华东地区AMHS行业市场现状
（3）华东地区AMHS行业市场规模预测
第三节 华中地区市场分析
一、华中地区概述
二、华中地区经济环境分析
三、华中地区AMHS行业市场分析
（1）华中地区AMHS行业市场规模
（2）华中地区AMHS行业市场现状
（3）华中地区AMHS行业市场规模预测
第四节 华南地区市场分析
一、华南地区概述
二、华南地区经济环境分析
三、华南地区AMHS行业市场分析
（1）华南地区AMHS行业市场规模
（2）华南地区AMHS行业市场现状
（3）华南地区AMHS行业市场规模预测
第五节 华北地区AMHS行业市场分析
一、华北地区概述
二、华北地区经济环境分析
三、华北地区AMHS行业市场分析
（1）华北地区AMHS行业市场规模
（2）华北地区AMHS行业市场现状
（3）华北地区AMHS行业市场规模预测
第六节 东北地区市场分析
一、东北地区概述
二、东北地区经济环境分析
三、东北地区AMHS行业市场分析
（1）东北地区AMHS行业市场规模
（2）东北地区AMHS行业市场现状
（3）东北地区AMHS行业市场规模预测
第七节 西南地区市场分析
一、西南地区概述
二、西南地区经济环境分析
三、西南地区AMHS行业市场分析
（1）西南地区AMHS行业市场规模
（2）西南地区AMHS行业市场现状
（3）西南地区AMHS行业市场规模预测
第八节 西北地区市场分析
一、西北地区概述
二、西北地区经济环境分析
三、西北地区AMHS行业市场分析
（1）西北地区AMHS行业市场规模
（2）西北地区AMHS行业市场现状
（3）西北地区AMHS行业市场规模预测
第九节 2025-2032年中国AMHS行业市场规模区域分布预测
第十二章 AMHS行业企业分析（随数据更新可能有调整）
第一节 企业一
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
（1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
第二节 企业二
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
（1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
第三节 企业三
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
（1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
第四节 企业四
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
（1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
第五节 企业五
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
（1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
第六节 企业六
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
（1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
第七节 企业七
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
（1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
第八节 企业八
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
（1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
第九节 企业九
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
第十节 企业十
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
（1）主要经济指标情况
（2）企业盈利能力分析
（3）企业偿债能力分析
（4）企业运营能力分析
（5）企业成长能力分析
四、公司优势分析
【第四部分 展望、结论与建议】
第十三章 2025-2032年中国AMHS行业发展前景分析与预测
第一节 中国AMHS行业未来发展前景分析
一、中国AMHS行业市场机会分析
二、中国AMHS行业投资增速预测
第二节 中国AMHS行业未来发展趋势预测
第三节 中国AMHS行业规模发展预测
一、中国AMHS行业市场规模预测
二、中国AMHS行业市场规模增速预测
三、中国AMHS行业产值规模预测
四、中国AMHS行业产值增速预测
五、中国AMHS行业供需情况预测
第四节 中国AMHS行业盈利走势预测
第十四章 中国AMHS行业研究结论及投资建议
第一节 观研天下中国AMHS行业研究综述
一、行业投资价值
二、行业风险评估
第二节 中国AMHS行业进入策略分析
一、目标客户群体
二、细分市场选择
三、区域市场的选择
第三节 AMHS行业品牌营销策略分析
一、AMHS行业产品策略
二、AMHS行业定价策略
三、AMHS行业渠道策略
四、AMHS行业推广策略
第四节 观研天下分析师投资建议
