中国超净高纯试剂行业发展历程。我国超净高纯试剂的研制起步于七十年代中期。1980年,北京化学试剂研究所在国内率先研制成功适合中小规模集成电路5μm技术用的22种MOS级(按照国内常用分级法,低于BV-I级)试剂。
超净高纯试剂在平板显示器行业中的应用。显示器分为平板显示器(FPD)和阴极射线管显示器(CRT)。相对于传统的阴极射线管显示来说,平板显示(FPD)具有节能环保、低辐射、重量轻、厚度雹体积小等优点,已成为显示技术发展的主流方向。
超净高纯试剂在集成电路行业的应用。清洗工艺是微电子加工中最基础的工艺。随着集成度不断提高,线宽不断减小,对硅衬底片的表面质量要求也越来越高。
超净高纯试剂行业标准规格与功能概况。由于世界超净高纯试剂市场的不断扩大,从事超净高纯试剂研究与生产的厂家及机构也在增多,生产规模在不断扩大。但各生产厂家所生产的超净高纯试 剂 的 标 准 各 不 相 同 。
超净高纯试剂行业概况与特点分析。20 世纪 50 年代以后,电子信息、材料科学、航天军工、生命科学和生物工程等新兴工业的空前发展,要求化学试剂工业提供成千上万个新品种以满足不同需求。
国内外半导体行业超净高纯试剂基本情况简介。超净高纯试剂,又称工艺化学品,是指主体成分纯度大于 99.99%,杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂,是大规模集成电路和超大规模集成电路制造的关键性配套材料,主要用于芯片的清洗、蚀刻,以及高能电池电解液、电子元器件、高端通用芯片、分立器、平板显示器、太阳能电池、光电玻璃等制造领域。