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纳米压印光刻系统

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2018年中国纳米压印光刻系统行业分析报告-市场深度调研与发展前景预测

纳米压印光刻是一种新型的纳米结构制作方法,该工艺通过光刻胶的物理变形来实现图像的转移,加工的尺度突破了传统光刻的工艺极限,压印机设备工作原理如图 1 所示

2018-06-12 软件
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